第217章 文件生效,徐铭的大胆设想(4 / 5)

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  “动作真快啊!”
  深吸一口气轻声低喃一句,大脑却是在飞速运转。
  其实早在燕京奥运会的那一年,国內便已经开始系统性布局高端半导体设备o
  发布的中长期科学和技术发展规划纲要,確定的十几个重大科技专项中,极大规模集成电路製造技术及成套工艺排在首位,正式把晶片製造技术提升到战略级,提供持续和巨额的经费支持。
  布局採用產学研用”结合的模式,系统性发展整个晶片製造產业链。
  光刻机为最关键,最难攻克的环节。
  截至目前,魔都微电子装备集团公司,作为国產光刻机研发的绝对主力军,能稳定交付的先进光刻机,为90纳米工艺水平。
  相比海外最先进的,14纳米以及10纳米浸没式光刻机要落后很多。
  因此海外这份文件的签署,確实会带来很大影响。
  难怪连王者坤和唐亚愚教授他们,都被紧急喊到科学院总部参加会议。
  而就当他想到这些时,脑海中却又浮现出,针对拓扑光子—等离激元耦合態理论的新想法。
  且越来越强烈。
  “以等离激元耦合態的性质,如果能將输入雷射的波长通过精確调控在某个近红外波段,或许產生的二次辐射的波长,能够在13.5nm的极紫外窗口附近。”
  这是他前几天推导公式时,猛然意识到的一项设想。
  如果能够实现的话,便相当於找到了,全新方式的极紫外光源。
  本来今天正是想你两位教授,討论极紫外光源的可行性及应用方向,在得知目前高產光刻机的研发,要儘快加速早日提上日程之后,顿时便想到將其作为光刻机光源。
  隨著疲个念头在脑海中挥之不去,他再也亨不住。
  迫切想进行討论研究。
  思维运转至此,他猛地站起身看向李由,毫不迟疑的向其询问一句。
  “杨老今天在科技馆办公室吗?”
  “应该在吧,没听说杨老去科学院参会。”李由想了想开口回答。
  徐铭听到疲句话,可以说没有任何迟疑,当即转身朝外面走去,准备前往科技馆二楼办公室,找杨老確认自己事於极紫外光源的设想。
  李由目睹徐铭的身影快速从视野消失,虽然稍微心里面有些好奇,却倒也没有多想,毕竟徐铭去杨老那里可不是什么新鲜事情。
  从课题办公室到科技馆,中间路程不算远,没多久徐铭便顺利到达。
  正如李由所讲的那样,杨老仍在自己办公室。
  未出席参加今天的科学院会议。
  站在办公室门口,昏抬手敲响房门,便听见里面有道熟悉的声音传来。
  “请进。”
  徐铭推门进来,脸上堆著笑容第一时间问候。
  “杨老。” ↑返回顶部↑

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