第224章 让全球意外的重磅成果【求订阅】(4 / 5)

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  “放心吧丁院,我们前期已经准备的足够多,相信实验验证绝不会让大家失望。”
  “说的没错,是我心態不稳了。”丁顺安点点头当即笑著附和句。
  儘管他这个身份和年龄,竟还不如徐铭沉得住气,但心里面却没丝毫不適,毕竟以徐铭的水平,很难会去把他当做三十不到的年轻人。
  哪怕年龄確实如此。
  就这样。
  很快伴隨著验证实验正式开始,在眾人的观察和各种监测仪器设备的记录下,只见从雷射设备中,发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射。
  在照射到高速旋转的光源靶盘上后,雷射在每一个点上瞬间激发耦合態。
  辐射出稳定的极紫外光。
  “各项数据怎么样?”
  贺鹏涛最先反应过来,立刻望向坐在屏幕前的潘耀大声询问具体数据,想知道最终结果究竟如何。
  虽说包括徐铭在內的其他人,没有再开口,但大家的目光无一例外,都集中在了潘耀的身上,因为过度紧张甚至有人都快要屏住呼吸。
  约摸过去了將近两分钟时间,潘耀的声音终於在实验室內响起。
  能够听出其中夹杂著明显的激动情绪。
  “有结果了。”
  “雷射在光源靶盘上,成功激发出等离激元耦合態。”
  “辐射出的光源波长为13.5纳米。”
  “输出光源稳定在50瓦,转化效率突破15%。”
  几乎是潘耀话音落下的瞬间,整个实验室內顿时爆发出雷鸣般的热烈鼓掌声,每个人脸上都肉眼可见的浮现出发自內心的喜悦。
  “成功了。”
  “我们掌握了稳定的极紫外光源,这是国產高端光刻机研发的一大步。”
  “徐总师的设想是正確的。”
  “很难想像首次实验,转化效率就达到了15%,这可比海外主流的极紫外光源技术高效许多。”
  “简直是在做梦。”
  凡是抽调进光刻机专项研究组的成员,都属於两个光机所內的优秀科研人员,对极紫外光源的好处无比清楚。
  但就是这样决定著高端光刻机工艺的光源,在几个月前对国內方面来说,还是可望而不可及的遥远存在,只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。
  可此刻在微电子装备总部实验室內,却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。
  毫不夸张的讲,这项成果无论放在哪里,都是地震。
  足以让全世界感到吃惊。
  待眾人的情绪逐渐平復下来,贺鹏涛依旧查看著屏幕中反馈的数据,隨后恋恋不捨收回目光,才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。
  “太让人惊喜了,採用新理论得到的极紫外光,已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。” ↑返回顶部↑

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