第245章 你难道连这个也懂(3 / 5)
“电晶体性能未能达到预期,开关速度比璇璣系统预测值慢了15%左右,且波动范围也比较大。”
“加上漏电流也比预测值高出一个量级,这会严重影响晶片的功耗出现失效“”
o
根据这几项测试的结果看,实际流片数据,根本达不到璇璣系统的数字流片,这样的良品率,可没法用於商业生產线的使用。
必须找到问题將其解决。
很快。
伴隨大家都看完报告,人群中的苏振豪率先开口,依旧坚持自己的判断。
“璇璣系统的模型算法,经过了无数次验证,预测数值是不可能出现问题的。”
眼看眾人要针对此事召开討论时,只听徐铭再次开口拍板为情况做出决断,显然通过这些数据报告,已然成功找到了问题的真正所在。
“问题不在於我们的设计软体,也不在逐光极紫外光刻机的光学投影上,如果我的判断没有错,应该是光刻胶在响应极紫外光时发生了,模型之外的化学反应暴走。”
“由光刻胶响应迟缓隨机,引起图案边缘隨机溃散。”
“进而破坏了电晶体的电学特徵。”
“周院研发的新一代光刻胶,虽然实现技术突破,但仍旧没能达到逐光和璇璣的要求。”
“我们的设计软体和光刻机,在技术上与海外分属於不同的技术路线,要想真正发挥出最大优势,成为世界上最先进的高端晶片生產线,必须为他们量身打造一款国產高端光刻胶。”
当徐铭的话音传到房间每个人耳中,大家心里也不免感到五味杂陈。
面对这样的一个结果,不知道该高兴还是嘆气。
首次全链路功能验证流片,在一定程度上,证明了逐光极紫外光刻机,和璇璣系统eda算法工具的成功,单凭这两项成果自然值得高兴庆贺。
然却也发现了光刻胶的问题,依旧无法实现真正的国產化高端晶片製造。
周启深看到结果虽情绪短暂低落,但毕竟是国內化学领域的顶尖专家,他很快便调整好了自己的心態。
待目光重新浮现坚定之色时,立刻向余高远说话。
“请院里和领导放心,我们化学研究所,保证在一年时间內找到並解决光刻胶响应迟缓隨机。”
“不影响国產晶片製造產业链问世。”
然余高远听完这句话后,却並没有立刻开口表態。
反倒是把视线投向徐铭询问道:“你是整个专项项目的总设计师,先谈谈你的想法和后续打算吧?”说话时脸上表情隱隱夹杂著几分期待。
以他对徐铭的了解,既然能直接確定问题,那么大概率已经有解决方案。
肯定要先询问清楚。
毕竟和徐铭接触的这段时间,他可没少从对方那里听到惊喜。
没错。
徐铭对於光刻胶的响应迟缓隨机,確实没有太担心。
正常情况下,要为光刻机和软体量身打造光刻胶,的確是件非常困难的事情o ↑返回顶部↑
“加上漏电流也比预测值高出一个量级,这会严重影响晶片的功耗出现失效“”
o
根据这几项测试的结果看,实际流片数据,根本达不到璇璣系统的数字流片,这样的良品率,可没法用於商业生產线的使用。
必须找到问题將其解决。
很快。
伴隨大家都看完报告,人群中的苏振豪率先开口,依旧坚持自己的判断。
“璇璣系统的模型算法,经过了无数次验证,预测数值是不可能出现问题的。”
眼看眾人要针对此事召开討论时,只听徐铭再次开口拍板为情况做出决断,显然通过这些数据报告,已然成功找到了问题的真正所在。
“问题不在於我们的设计软体,也不在逐光极紫外光刻机的光学投影上,如果我的判断没有错,应该是光刻胶在响应极紫外光时发生了,模型之外的化学反应暴走。”
“由光刻胶响应迟缓隨机,引起图案边缘隨机溃散。”
“进而破坏了电晶体的电学特徵。”
“周院研发的新一代光刻胶,虽然实现技术突破,但仍旧没能达到逐光和璇璣的要求。”
“我们的设计软体和光刻机,在技术上与海外分属於不同的技术路线,要想真正发挥出最大优势,成为世界上最先进的高端晶片生產线,必须为他们量身打造一款国產高端光刻胶。”
当徐铭的话音传到房间每个人耳中,大家心里也不免感到五味杂陈。
面对这样的一个结果,不知道该高兴还是嘆气。
首次全链路功能验证流片,在一定程度上,证明了逐光极紫外光刻机,和璇璣系统eda算法工具的成功,单凭这两项成果自然值得高兴庆贺。
然却也发现了光刻胶的问题,依旧无法实现真正的国產化高端晶片製造。
周启深看到结果虽情绪短暂低落,但毕竟是国內化学领域的顶尖专家,他很快便调整好了自己的心態。
待目光重新浮现坚定之色时,立刻向余高远说话。
“请院里和领导放心,我们化学研究所,保证在一年时间內找到並解决光刻胶响应迟缓隨机。”
“不影响国產晶片製造產业链问世。”
然余高远听完这句话后,却並没有立刻开口表態。
反倒是把视线投向徐铭询问道:“你是整个专项项目的总设计师,先谈谈你的想法和后续打算吧?”说话时脸上表情隱隱夹杂著几分期待。
以他对徐铭的了解,既然能直接確定问题,那么大概率已经有解决方案。
肯定要先询问清楚。
毕竟和徐铭接触的这段时间,他可没少从对方那里听到惊喜。
没错。
徐铭对於光刻胶的响应迟缓隨机,確实没有太担心。
正常情况下,要为光刻机和软体量身打造光刻胶,的確是件非常困难的事情o ↑返回顶部↑