第1142章 最精密的学问（2 / 6）
张红旗的手指，在图上轻轻点过。
“光源。”
“物镜系统。”
“掩膜台。”
“硅片台。”
钱院士的呼吸，停了一下。
他当然认得出来这是什么。
这是光刻机的核心架构。
但让他心惊的不是这个架构图本身。
而是图上那些密密麻麻的手写的標註。
全是英文和德文的缩写，夹杂著公式和参数。
“光源：lpp-euv，功率要求大於250w，能量转换效率大於5%。”
“物镜：13片非球面反射镜，材料，ule玻璃，表面粗糙度小於0.1纳米。”
“掩膜台：磁悬浮，同步运动精度小於2纳米。”
钱院士的眼睛，越瞪越大。
这些参数，每一个，都像一颗子弹。
精准地打在他几十年的科研认知上。
国內现在连duv都还在理论摸索阶段。
这张图，直接跳到了euv。
而且，给出的指標，比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据，还要激进，还要精確。
这根本不是一份方案。
这是一份来自未来的施工图纸。
钱院士的手，下意识地伸过去。
想要抚摸那张图纸。
手指，却在半空中停住了。
有点抖。
他的视线，落在了图纸的一个角落。
那里画著一个反射镜组的截面图。
旁边有一行小字。
“mo/si多层膜反射镜，每层厚度3-4纳米，总层数大於80层。” ↑返回顶部↑
“光源。”
“物镜系统。”
“掩膜台。”
“硅片台。”
钱院士的呼吸，停了一下。
他当然认得出来这是什么。
这是光刻机的核心架构。
但让他心惊的不是这个架构图本身。
而是图上那些密密麻麻的手写的標註。
全是英文和德文的缩写，夹杂著公式和参数。
“光源：lpp-euv，功率要求大於250w，能量转换效率大於5%。”
“物镜：13片非球面反射镜，材料，ule玻璃，表面粗糙度小於0.1纳米。”
“掩膜台：磁悬浮，同步运动精度小於2纳米。”
钱院士的眼睛，越瞪越大。
这些参数，每一个，都像一颗子弹。
精准地打在他几十年的科研认知上。
国內现在连duv都还在理论摸索阶段。
这张图，直接跳到了euv。
而且，给出的指標，比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据，还要激进，还要精確。
这根本不是一份方案。
这是一份来自未来的施工图纸。
钱院士的手，下意识地伸过去。
想要抚摸那张图纸。
手指，却在半空中停住了。
有点抖。
他的视线，落在了图纸的一个角落。
那里画著一个反射镜组的截面图。
旁边有一行小字。
“mo/si多层膜反射镜，每层厚度3-4纳米，总层数大於80层。” ↑返回顶部↑