第1353章 代表团（4 / 4）

  红色是asml公布的euv光源功率预测曲线，蓝色是钱院士根据物理模型反推的实际曲线。
  两条曲线在2005年之后开始分叉。
  越往后，差距越大。
  钱院士盯著屏幕，手里的粉笔攥了很久。
  “他们的散热方案有问题。”
  三个博士凑过来看。
  钱院士指著分叉点：“euv光源功率从十瓦往上走，到五十瓦，再到两百瓦，锡滴靶材的等离子体温度会指数级上升。他们现在用的冷却方案，撑不住。”
  一个博士问：“撑不住会怎样？”
  “镜面镀膜层会热降解，反射率下降，光刻精度就废了。”
  钱院士把粉笔放下，转过身，看著白板上那张画了两个月的光路图。
  “他们量產不了。” ↑返回顶部↑