第78章 理论准备,晶圆加工的技术链!(4 / 5)
江阳摇头道:
“本来就是替代的东西,用不著费那么大的精力。”
“我根据老大哥的tsh-2型碳化硅砂轮切片机。”
“进行了简单的优化,让它更加適合针对硅平面工艺的需求。”
他一边说著。
一边回过头,绘製出设计草图。
j5060和tsh-2的技术差异,其实还是挺大的。
前者通过更细粒度砂轮和薄型化设计,將切割的损耗降低了一半,精度也有显著提升看著侃侃而谈的江阳。
眾人“刷”的,將笔记写得飞起,根本停不下来。
因为,全是要点。
为什么多喷嘴喷射冷却,能够提高散热效率。
分段式砂轮的刀片结构,为什么可以降低砂轮厚度。
这些他们一时都搞不明白。
但眾人清楚。
既然江阳说出来,至少理论上,已经没有太大的问题。
所以他们要做的,就是事无巨细地將每一个字记下来。
然后再去慢慢实验。
会议一直持续到晚上。
才终於结束。
除了j5060碳化硅砂轮切片机外。
江阳在后面。
还提到化学机械拋光设备、光刻设备和真空镀膜等设备的问题。
这些设备,华国基本都没有。
好在替代的方案,也能满足现有的研究需求。
就是需要牺牲一点质量。
比如化学拋光设备,就可以通过机械拋光+化学腐蚀来替代。
不过对於光刻机。
江阳提出了不一样的要求。
他在最后,道:
“光刻机,是半导体领域的核心设备。” ↑返回顶部↑
“本来就是替代的东西,用不著费那么大的精力。”
“我根据老大哥的tsh-2型碳化硅砂轮切片机。”
“进行了简单的优化,让它更加適合针对硅平面工艺的需求。”
他一边说著。
一边回过头,绘製出设计草图。
j5060和tsh-2的技术差异,其实还是挺大的。
前者通过更细粒度砂轮和薄型化设计,將切割的损耗降低了一半,精度也有显著提升看著侃侃而谈的江阳。
眾人“刷”的,將笔记写得飞起,根本停不下来。
因为,全是要点。
为什么多喷嘴喷射冷却,能够提高散热效率。
分段式砂轮的刀片结构,为什么可以降低砂轮厚度。
这些他们一时都搞不明白。
但眾人清楚。
既然江阳说出来,至少理论上,已经没有太大的问题。
所以他们要做的,就是事无巨细地將每一个字记下来。
然后再去慢慢实验。
会议一直持续到晚上。
才终於结束。
除了j5060碳化硅砂轮切片机外。
江阳在后面。
还提到化学机械拋光设备、光刻设备和真空镀膜等设备的问题。
这些设备,华国基本都没有。
好在替代的方案,也能满足现有的研究需求。
就是需要牺牲一点质量。
比如化学拋光设备,就可以通过机械拋光+化学腐蚀来替代。
不过对於光刻机。
江阳提出了不一样的要求。
他在最后,道:
“光刻机,是半导体领域的核心设备。” ↑返回顶部↑