第82章 双管齐下，继续推进硅电晶体研製工作！（2 / 5）
光刻胶这个概念。
还是江阳提出来的。
在此之前，他们都是以合金法和台面工艺製作电晶体，无需光刻胶。
王寿吾頜首道：
“汤教授，您请继续。”
闻言，汤定远道：
“江教授为我们介绍过光刻胶的作用。”
“它直接决定。”
“集成电路的最小特徵尺寸、良率和工艺复杂度—”
他说完后。
迟疑了片刻。
接下来的话，等於是在反对江阳提出的方案。
这时，江阳笑道：
“汤教授，如果您有更好的方法，但说无妨。”
汤定远点了点头，道：
“那我就直说了。”
“根据我的研究，使用天然沥青+溶剂，解析度极低。”
“最后很大概率无法满足我们的研製需要—”
沥青胶是负性光刻。
紫外线引发交联反应，形成三维网格结构后。
曝光区域变得难溶於溶剂，且会被溶剂渗透，引发溶胀。
虽说面前也能实现光刻。
但结果几乎是可以预见的不如人意。
汤定远说完后，又道：
“原本我也不觉得有问题。”
“毕竟光刻对我们所有人来说，都是个新东西。”
“但江教授的一句话，给了我启发。”
“如果让曝光区域发生光解反应，效果会不会更好——”
听完汤定远的想法后，眾人陷入沉思。
江阳面色不变。 ↑返回顶部↑
还是江阳提出来的。
在此之前，他们都是以合金法和台面工艺製作电晶体，无需光刻胶。
王寿吾頜首道：
“汤教授，您请继续。”
闻言，汤定远道：
“江教授为我们介绍过光刻胶的作用。”
“它直接决定。”
“集成电路的最小特徵尺寸、良率和工艺复杂度—”
他说完后。
迟疑了片刻。
接下来的话，等於是在反对江阳提出的方案。
这时，江阳笑道：
“汤教授，如果您有更好的方法，但说无妨。”
汤定远点了点头，道：
“那我就直说了。”
“根据我的研究，使用天然沥青+溶剂，解析度极低。”
“最后很大概率无法满足我们的研製需要—”
沥青胶是负性光刻。
紫外线引发交联反应，形成三维网格结构后。
曝光区域变得难溶於溶剂，且会被溶剂渗透，引发溶胀。
虽说面前也能实现光刻。
但结果几乎是可以预见的不如人意。
汤定远说完后，又道：
“原本我也不觉得有问题。”
“毕竟光刻对我们所有人来说，都是个新东西。”
“但江教授的一句话，给了我启发。”
“如果让曝光区域发生光解反应，效果会不会更好——”
听完汤定远的想法后，眾人陷入沉思。
江阳面色不变。 ↑返回顶部↑