第126章 光学工业革新的希望!(2 / 5)
不待他回答。
一旁的苏筱便道:“您好,我是江教授的助理,苏筱。”
听到她的介绍。
王寿吾笑道:“苏筱同志您好,我是半导体研究所的所长,王寿吾。”
他说完后。
站在旁边的王大严和黄坤两人,也做了个介绍。
一他们的眼神,十分稀奇。
这时,江阳打断道:“王所长,现在对光刻机光学系统的研究进展如何?”
说起研究。
王寿吾立刻收起好奇,道:“老王所长在这里,让他跟您直接匯报吧。”
一旁的王大严道:“江教授,多亏您的方案,研究的进展十分顺利。”
“我们现在。”
“对反射镜加工、汞灯问题和对准问题,有了不错的进展————”
听著王大严的总结。
江阳目露思索。
要说进展“不错”,其实也没有问题。
但问题是。
想要达到perkinelmermicralign500近接式光刻机的光学系统要求。
还存在相当大的距离。
王大严最后道:“按照我们现在的研究速度。”
“不出意外。”
“在3年之內,就能將光学系统的问题解决。”
他的语气。
带著几分轻鬆。
毕竟这个进展,绝对可以用神速来形容。
就拿反射镜加工来说。
喜都光机所研究了数年,也才堪堪达到入/4的精度。
但依据江阳提供的方案。
短时间內,便提升到了λ/8的级別。
想到这里。 ↑返回顶部↑
一旁的苏筱便道:“您好,我是江教授的助理,苏筱。”
听到她的介绍。
王寿吾笑道:“苏筱同志您好,我是半导体研究所的所长,王寿吾。”
他说完后。
站在旁边的王大严和黄坤两人,也做了个介绍。
一他们的眼神,十分稀奇。
这时,江阳打断道:“王所长,现在对光刻机光学系统的研究进展如何?”
说起研究。
王寿吾立刻收起好奇,道:“老王所长在这里,让他跟您直接匯报吧。”
一旁的王大严道:“江教授,多亏您的方案,研究的进展十分顺利。”
“我们现在。”
“对反射镜加工、汞灯问题和对准问题,有了不错的进展————”
听著王大严的总结。
江阳目露思索。
要说进展“不错”,其实也没有问题。
但问题是。
想要达到perkinelmermicralign500近接式光刻机的光学系统要求。
还存在相当大的距离。
王大严最后道:“按照我们现在的研究速度。”
“不出意外。”
“在3年之內,就能將光学系统的问题解决。”
他的语气。
带著几分轻鬆。
毕竟这个进展,绝对可以用神速来形容。
就拿反射镜加工来说。
喜都光机所研究了数年,也才堪堪达到入/4的精度。
但依据江阳提供的方案。
短时间內,便提升到了λ/8的级別。
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