第867章 底线在哪里（7 / 10）
许燃走到屏幕前。
“缺陷分布按时间排序。”
学生赶紧操作。
一排显微图刷开。
许燃看了不到半分钟，忽然问：
“成核初始阶段的数据呢？”
陈容与立刻道：
“都在。”
“我们重点盯的是后段热循环。”
“边缘裂纹看起来像降温应力导致的。”
许燃摇头。
“不是后段。”
“问题在前十八秒。”
陈容与一愣。
“前十八秒？”
“那时候晶核都没长开。”
“就是没长开才出问题。”
许燃指著第一张图。
“表面能扰动太大。”
“你们把基底当成平地。”
“放大炉里，气流和边界温差会把成核点推成波浪。”
“后面长得再漂亮，边缘也会带著第一步的歪劲。”
老郑皱眉。
“温度曲线没异常。”
“曲线没异常，不代表表面能没波动。”
许燃拉过工艺界面，手指飞快点了几下。
“前段等温取消。”
“改三段脉衝。”
“基底偏压延迟。”
“前驱体a提前。” ↑返回顶部↑
“缺陷分布按时间排序。”
学生赶紧操作。
一排显微图刷开。
许燃看了不到半分钟，忽然问：
“成核初始阶段的数据呢？”
陈容与立刻道：
“都在。”
“我们重点盯的是后段热循环。”
“边缘裂纹看起来像降温应力导致的。”
许燃摇头。
“不是后段。”
“问题在前十八秒。”
陈容与一愣。
“前十八秒？”
“那时候晶核都没长开。”
“就是没长开才出问题。”
许燃指著第一张图。
“表面能扰动太大。”
“你们把基底当成平地。”
“放大炉里，气流和边界温差会把成核点推成波浪。”
“后面长得再漂亮，边缘也会带著第一步的歪劲。”
老郑皱眉。
“温度曲线没异常。”
“曲线没异常，不代表表面能没波动。”
许燃拉过工艺界面，手指飞快点了几下。
“前段等温取消。”
“改三段脉衝。”
“基底偏压延迟。”
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