第890章 不在西方的收费站排队!烛龙亮剑,整条工业链换骨!(2 / 6)

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  “传统euv的核心逻辑,是把图案缩小后投到晶圆上。”
  “光源越短,物镜越强,掩膜越精,图案越细。”
  “这条路能走。”
  “西方走了几十年。”
  “问题是,他们把每个路口都修成收费站。”
  “我们不在收费站排队。”
  他点开下一页。
  屏幕上,烛龙底座的局部结构出现。
  这一次,比大会上多开放了几层参数。
  不少专家一眼看过去,后背发紧。
  环形量子光场阵列。
  负折射物镜组。
  原子源控制腔。
  多极电磁约束层。
  晶圆表面势能模板接口。
  许燃指著结构图。
  “烛龙不做缩小投影。”
  “烛龙做晶体级製造。”
  “用负折射边缘態物镜生成超分辨光场。”
  “用多极势阱锁定原子沉积位置。”
  “用电磁场修正原子迁移路径。”
  “用表面化学模板给晶圆写入势能差。”
  “最后,让材料从下往上长成逻辑结构。”
  会议室静了两秒。
  隨后,质疑炸开。
  一名材料院士直接站了起来。
  “许燃,原子不是棋子。”
  “热噪声、表面扩散、吸附能差,一堆变量。”
  “你让它站哪儿就站哪儿?”
  另一个晶圆厂负责人接话: ↑返回顶部↑

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