第352章 130纳米製程情况（1 / 3）
马宇腾他放下手中的水杯。
目光从那些喜人的数据上移开，落在了肖光楠的脸上。
“你之前的匯报文件中提到，湾湾的台积电，在最近已经通过採用浸没式光刻技术，成功实现了90纳米製程的量產突破？”
“是的，我已经通过行业內的关係確认了这个消息的真实性。”
这个消息，对於半导体行业之外的人来说，或许只是一行冰冷的技术新闻。
但对於肖光楠这样的从业者而言，不啻於一声惊雷。
这意味著，在先进位程的赛道上，领跑者又一次拉开了与追赶者的距离。
马宇腾的声音再次响起，带著不容置疑的压迫感。
“我们不能永远停留在成熟製程上，靠著关联公司的订单过日子，那最后只会变成价格战的红海。”
“所以，我们的下一代製程研发，现在是怎样的情况?”
肖光楠深吸一口气，调出了另一份ppt。
这份ppt的標题是——“130纳米工艺製程研发进展”。
“马总，您的顾虑，我们已经意识到了。在保证现有生產任务的同时，技术部已经成立了专项攻关小组，进行130纳米製程的开发。”
肖光楠指著屏幕上的一张设备採购单。
“我们从尼康採购了一台nsr-s307e arf扫描式光刻机，这是开发130纳米工艺的关键设备。”
“之后，通过这台光刻机进行了新製程工艺的开发，只是良品率……”
马宇腾的目光落在报告的最后一页，那里有一张醒目的良率统计图。
那条代表著良率的曲线，在经歷了初期的几次小幅爬升后，就死死地停在了一个数字上，再也无法寸进。
百分之三十。
一个根本不具备任何商业量產价值的数字。
马宇腾抬起头，看著肖光楠，眼神平静，却仿佛能穿透人心。
“原因是什么？”
肖光楠的嘴唇动了动，镜片后的双眼流露出一丝技术人员面对难题时的凝重与无奈。
他走到白板前，调出了一张更为复杂的工艺流程图。
“问题是系统性的。”
他指著图上一个被红框標记出来的区域。
“这是在进行柵极刻蚀的环节。我们的180纳米用的是成熟的干法刻蚀。”
“但到了130纳米，线宽急剧缩小，等离子体对光刻胶的损伤变得非常严重，导致刻蚀后的柵极侧壁形貌控制不住，出现大量的『脚丫』缺陷。”
他又切换到另一张电子显微镜下的扫描图片，图片上，本该是笔直的线条，底部却出现了不规则的凸起，如同人的脚丫。
“我们尝试了调整刻蚀气体的配比，优化等离子体的功率，甚至更换了光刻胶的供应商，但效果都不理想。” ↑返回顶部↑
目光从那些喜人的数据上移开，落在了肖光楠的脸上。
“你之前的匯报文件中提到，湾湾的台积电，在最近已经通过採用浸没式光刻技术，成功实现了90纳米製程的量產突破？”
“是的，我已经通过行业內的关係確认了这个消息的真实性。”
这个消息，对於半导体行业之外的人来说，或许只是一行冰冷的技术新闻。
但对於肖光楠这样的从业者而言，不啻於一声惊雷。
这意味著，在先进位程的赛道上，领跑者又一次拉开了与追赶者的距离。
马宇腾的声音再次响起，带著不容置疑的压迫感。
“我们不能永远停留在成熟製程上，靠著关联公司的订单过日子，那最后只会变成价格战的红海。”
“所以，我们的下一代製程研发，现在是怎样的情况?”
肖光楠深吸一口气，调出了另一份ppt。
这份ppt的標题是——“130纳米工艺製程研发进展”。
“马总，您的顾虑，我们已经意识到了。在保证现有生產任务的同时，技术部已经成立了专项攻关小组，进行130纳米製程的开发。”
肖光楠指著屏幕上的一张设备採购单。
“我们从尼康採购了一台nsr-s307e arf扫描式光刻机，这是开发130纳米工艺的关键设备。”
“之后，通过这台光刻机进行了新製程工艺的开发，只是良品率……”
马宇腾的目光落在报告的最后一页，那里有一张醒目的良率统计图。
那条代表著良率的曲线，在经歷了初期的几次小幅爬升后，就死死地停在了一个数字上，再也无法寸进。
百分之三十。
一个根本不具备任何商业量產价值的数字。
马宇腾抬起头，看著肖光楠，眼神平静，却仿佛能穿透人心。
“原因是什么？”
肖光楠的嘴唇动了动，镜片后的双眼流露出一丝技术人员面对难题时的凝重与无奈。
他走到白板前，调出了一张更为复杂的工艺流程图。
“问题是系统性的。”
他指著图上一个被红框標记出来的区域。
“这是在进行柵极刻蚀的环节。我们的180纳米用的是成熟的干法刻蚀。”
“但到了130纳米，线宽急剧缩小，等离子体对光刻胶的损伤变得非常严重，导致刻蚀后的柵极侧壁形貌控制不住，出现大量的『脚丫』缺陷。”
他又切换到另一张电子显微镜下的扫描图片，图片上，本该是笔直的线条，底部却出现了不规则的凸起，如同人的脚丫。
“我们尝试了调整刻蚀气体的配比，优化等离子体的功率，甚至更换了光刻胶的供应商，但效果都不理想。” ↑返回顶部↑