第430章 东微半导体（3 / 3）

  那么蚀刻机就是“刻刀”，负责將图案上没有被光刻胶保护的部分，一层一层地、以纳米级的精度蚀刻掉，从而形成电晶体的沟槽、金属互连的线路。
  一次光刻，往往伴隨著数次甚至数十次的蚀刻。
  蚀刻的精度、速度和均匀性，直接决定了晶片的良率和性能。
  “尹总，你们这台设备，对標的是国际上哪款產品？”马宇腾问。
  尹仕尧讚许地看了他一眼，这个问题很內行。
  “对標的是应用材料公司的emax系列。当然，在一些关键指標上，我们还有差距。但我们已经实现了从零到一的突破。”
  他领著两人继续往里走，来到一个独立的研发区域，这里摆放著各种零部件和设计图纸。
  “差距主要在哪里？”马宇腾追问。
  “专利。”尹仕尧的回答只有一个词。 ↑返回顶部↑