第135章 诸君，且听龙吟！（3 / 4）
军委装备发展部代表；
中科院院长亲自坐镇。
所有人都屏住呼吸。
赵崇明站在控制台前，一身深色西装，神情沉静。
他看了眼林振邦老人颤抖的手，轻声问：“林老，可以开始了吗？”
林振邦深深吸了一口气，眼中泛著泪光，却用力点头：“开……开机！”
赵崇明转身，按下红色启动键。
嗡——
低沉而稳定的轰鸣声从光刻机內部传来，如同巨龙甦醒。
雷射源点亮，193nm深紫外光束穿过精密透镜组；
超纯水浸没系统启动，液膜均匀覆盖硅片表面；
纳米级工件台以0.1微米精度移动，定位误差小於3纳米。
大屏幕上，实时监控画面跳动：
曝光开始……
套刻精度：2.8nm（目標≤4nm）
线宽均匀性：±1.1nm（目標±1.5nm）
良率预测：92.7%
时间一分一秒过去。
十分钟后，机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
检测仪扫描完成——
图形完整，线宽38.2nm，无断线、无桥接、无畸变。
成功了！
“成了！！”
吴启明突然嘶吼一声，老泪纵横，一把抱住身边的周秉义。
整个大厅瞬间沸腾！
科研人员相拥而泣，年轻的工程师跪在地上，双手捂脸，肩膀剧烈抽动。
军方代表摘下眼镜，悄悄擦拭眼角。
科技部副部长快步上前，紧紧握住赵崇明的手，声音哽咽：“小赵……你……你们给国家，爭了一口气啊！”
赵崇明客气的开口道：“领导，您说笑了，这哪里是我一个人的功劳，这是大家集体的努力，不然，是没有这么容易的！”
而林振邦没有动。 ↑返回顶部↑
中科院院长亲自坐镇。
所有人都屏住呼吸。
赵崇明站在控制台前，一身深色西装，神情沉静。
他看了眼林振邦老人颤抖的手，轻声问：“林老，可以开始了吗？”
林振邦深深吸了一口气，眼中泛著泪光，却用力点头：“开……开机！”
赵崇明转身，按下红色启动键。
嗡——
低沉而稳定的轰鸣声从光刻机內部传来，如同巨龙甦醒。
雷射源点亮，193nm深紫外光束穿过精密透镜组；
超纯水浸没系统启动，液膜均匀覆盖硅片表面；
纳米级工件台以0.1微米精度移动，定位误差小於3纳米。
大屏幕上，实时监控画面跳动：
曝光开始……
套刻精度：2.8nm（目標≤4nm）
线宽均匀性：±1.1nm（目標±1.5nm）
良率预测：92.7%
时间一分一秒过去。
十分钟后，机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
检测仪扫描完成——
图形完整，线宽38.2nm，无断线、无桥接、无畸变。
成功了！
“成了！！”
吴启明突然嘶吼一声，老泪纵横，一把抱住身边的周秉义。
整个大厅瞬间沸腾！
科研人员相拥而泣，年轻的工程师跪在地上，双手捂脸，肩膀剧烈抽动。
军方代表摘下眼镜，悄悄擦拭眼角。
科技部副部长快步上前，紧紧握住赵崇明的手，声音哽咽：“小赵……你……你们给国家，爭了一口气啊！”
赵崇明客气的开口道：“领导，您说笑了，这哪里是我一个人的功劳，这是大家集体的努力，不然，是没有这么容易的！”
而林振邦没有动。 ↑返回顶部↑