第74章 我不是一个人（2 / 4）
“这是非常关键的一步我们有超越时代的理念，但现在摸不到门槛，需要在80年代初把工业基础结合起来，讲出来才是硬道理。”
钱老缓缓摇头：“目前不太方便。这些项目都很敏感，涉及领域广，保密级別高，而且大多还处於实验室原理样机阶段，距离稳定使用的工程化设备还有很长的路要走。”
李向阳心中有些失望，但也能理解国之重器，自然不可能轻易示人。
然而，钱老话锋一转：“不过你既然提到了，又说得在理，我可以帮你问问情况，安排一下。或许能让相关方面的同志和你进行一些技术交流—但实地参观目前確实有困难。”
这已是意外之喜。
李向阳连忙点头：“谢谢钱老！能有机会交流学习就非常好了。”
他知道饭要一口一口吃，能搭上线、建立沟通渠道，就是巨大的进展。
但他还有话想说。
趁著钱老还在，他鼓起勇气开口：“钱老，我还有个不成熟的想法，关於光刻机技术的发展路径，想向您匯报一下。”
钱老眼中闪过一丝兴趣：“哦？你说说看。”
李向阳组织著语言：“根据我查阅的国外公开资料和技术动態，目前国际前沿正在从单纯追求光学精度，向机电光一体化和计算机控制的方向发展。”
“比如掩模板和硅片的对准，传统方式依赖机械和光学对准，精度提升难、效率低。
如果引入高精度数字传感器，配合计算机实时採集图像、计算调整位置，对准精度和速度都能大幅提升。”
“再比如曝光过程，光源稳定性、透镜热变形、工作檯微小震动都会影响成像质量。
如果在关键位置布置传感器网络，实时监测这些参数，通过计算机建立补偿模型，动態调整曝光参数和工作檯位置，是不是就有可能突破现有精度限制？”
“还有自动对焦、光强均匀性控制，甚至利用计算机辅助设计更复杂的解析度增强技术————”
他点到为止。
即便这些只是初级概念，在80年代初的半导体领域，也无疑是前沿一国际上只有少数顶尖实验室和企业，才开始探索。
李向阳说完，钱老再次陷入沉默。
在场的专家们也怔怔地看著他，脸上满是难以置信的神色，互相交换著眼神。
一个搞车辆的年轻人，怎么会对光刻机技术有如此见解？
钱老把手搭在讲桌上，习惯性地敲击起来：“噠、噠、噠————”
良久，他停下敲击，看著李向阳：“李向阳同志，你这些想法从哪里来的？”
李向阳稳住心神，坦然回答：“从国外公开的学术期刊看到的零散信息总结而来，还有就是我自己基於工程控制理论和自动化发展趋势做的推演和设想。”
“可能很粗浅，也不一定对，就是想趁著您在，探討一下。”
这个解释半真半假，却也算合情合理。
钱老盯著他看了好几秒，忽然笑了，带著发现瑰宝的欣喜：“好！好啊！”
他连说两个“好”字：“年轻人眼光放得远，思路开阔！不但能看到车，还能看到车背后的晶片，看到晶片背后的製造设备，难能可贵！还能提出技术发展方向，不错！”
钱老转身，隨从立刻上前。
他对著閆淞说：“拉斯特”项目好好搞，光刻机和晶片的事情我会记在心里，找机会和相关部门沟通。经费的事你们按程序抓紧上报，我会推动。 ↑返回顶部↑
钱老缓缓摇头：“目前不太方便。这些项目都很敏感，涉及领域广，保密级別高，而且大多还处於实验室原理样机阶段，距离稳定使用的工程化设备还有很长的路要走。”
李向阳心中有些失望，但也能理解国之重器，自然不可能轻易示人。
然而，钱老话锋一转：“不过你既然提到了，又说得在理，我可以帮你问问情况，安排一下。或许能让相关方面的同志和你进行一些技术交流—但实地参观目前確实有困难。”
这已是意外之喜。
李向阳连忙点头：“谢谢钱老！能有机会交流学习就非常好了。”
他知道饭要一口一口吃，能搭上线、建立沟通渠道，就是巨大的进展。
但他还有话想说。
趁著钱老还在，他鼓起勇气开口：“钱老，我还有个不成熟的想法，关於光刻机技术的发展路径，想向您匯报一下。”
钱老眼中闪过一丝兴趣：“哦？你说说看。”
李向阳组织著语言：“根据我查阅的国外公开资料和技术动態，目前国际前沿正在从单纯追求光学精度，向机电光一体化和计算机控制的方向发展。”
“比如掩模板和硅片的对准，传统方式依赖机械和光学对准，精度提升难、效率低。
如果引入高精度数字传感器，配合计算机实时採集图像、计算调整位置，对准精度和速度都能大幅提升。”
“再比如曝光过程，光源稳定性、透镜热变形、工作檯微小震动都会影响成像质量。
如果在关键位置布置传感器网络，实时监测这些参数，通过计算机建立补偿模型，动態调整曝光参数和工作檯位置，是不是就有可能突破现有精度限制？”
“还有自动对焦、光强均匀性控制，甚至利用计算机辅助设计更复杂的解析度增强技术————”
他点到为止。
即便这些只是初级概念，在80年代初的半导体领域，也无疑是前沿一国际上只有少数顶尖实验室和企业，才开始探索。
李向阳说完，钱老再次陷入沉默。
在场的专家们也怔怔地看著他，脸上满是难以置信的神色，互相交换著眼神。
一个搞车辆的年轻人，怎么会对光刻机技术有如此见解？
钱老把手搭在讲桌上，习惯性地敲击起来：“噠、噠、噠————”
良久，他停下敲击，看著李向阳：“李向阳同志，你这些想法从哪里来的？”
李向阳稳住心神，坦然回答：“从国外公开的学术期刊看到的零散信息总结而来，还有就是我自己基於工程控制理论和自动化发展趋势做的推演和设想。”
“可能很粗浅，也不一定对，就是想趁著您在，探討一下。”
这个解释半真半假，却也算合情合理。
钱老盯著他看了好几秒，忽然笑了，带著发现瑰宝的欣喜：“好！好啊！”
他连说两个“好”字：“年轻人眼光放得远，思路开阔！不但能看到车，还能看到车背后的晶片，看到晶片背后的製造设备，难能可贵！还能提出技术发展方向，不错！”
钱老转身，隨从立刻上前。
他对著閆淞说：“拉斯特”项目好好搞，光刻机和晶片的事情我会记在心里，找机会和相关部门沟通。经费的事你们按程序抓紧上报，我会推动。 ↑返回顶部↑