第286章 这张图,至少领先十年!(2 / 5)
“吴所长,你自己看,九號和十號,边缘区域,两点钟方向。”
吴建华三步並两步凑上去,低头贴上目镜。
五秒钟。
他的眉头拧成了疙瘩。
“微裂纹?”
“对。”
“宽度大约零点三微米,沿晶向延伸,长度不超过八十微米。”
吴建华直起腰,脸色有些掛不住。
他刚才明明检查过。
肉眼和常规检测都没查出毛病。
“这个裂纹在中心区域没有,只出现在边缘。也不是每片都有,十二片里我看了四片有类似痕跡。”
顾昭昭走到工作檯旁,拿起铅笔和一张草稿纸。
“问题不在拉晶参数上,参数没毛病。”
她画了个坩堝截面示意图,三笔勾完。
“问题出在坩堝的热场分布,你们的加热器是单区控温,坩堝中心和边缘的温差,实际上比你们仪表读出来的大。”
吴建华盯著那个截面图:“大多少?”
“中心和边缘的实际温差在八到十二度之间。你们的仪表只能测到坩堝外壁温度,內部熔体边缘的真实温度,测不著。”
老周站在旁边,嘴巴张的老大,手里记录本忘了写。
“晶体生长过程中,边缘冷得比中心快,热应力集中,就產生微裂纹,晶体越大,效应越明显。”
顾昭昭在截面图上添了几个箭头,標出热流方向。
“两英寸的时候问题不大,尺寸小,温差效应弱。三英寸一上来,边缘应力就扛不住了。”
吴建华的脸沉下来了。
他干了几十年,热场梯度的重要性当然清楚。
可设备条件摆在那儿,一直默认单区控温够用。
“能不能改?”
吴建华没绕弯子。
“两个办法。”
顾昭昭竖起两根手指。
“第一个是换双区加热器,但你们现有的炉子改造起来至少两个月。”
“第二个是在坩堝外壁加一层导热均衡层。相当於给坩堝穿一件棉袄,把热量匀开。” ↑返回顶部↑
吴建华三步並两步凑上去,低头贴上目镜。
五秒钟。
他的眉头拧成了疙瘩。
“微裂纹?”
“对。”
“宽度大约零点三微米,沿晶向延伸,长度不超过八十微米。”
吴建华直起腰,脸色有些掛不住。
他刚才明明检查过。
肉眼和常规检测都没查出毛病。
“这个裂纹在中心区域没有,只出现在边缘。也不是每片都有,十二片里我看了四片有类似痕跡。”
顾昭昭走到工作檯旁,拿起铅笔和一张草稿纸。
“问题不在拉晶参数上,参数没毛病。”
她画了个坩堝截面示意图,三笔勾完。
“问题出在坩堝的热场分布,你们的加热器是单区控温,坩堝中心和边缘的温差,实际上比你们仪表读出来的大。”
吴建华盯著那个截面图:“大多少?”
“中心和边缘的实际温差在八到十二度之间。你们的仪表只能测到坩堝外壁温度,內部熔体边缘的真实温度,测不著。”
老周站在旁边,嘴巴张的老大,手里记录本忘了写。
“晶体生长过程中,边缘冷得比中心快,热应力集中,就產生微裂纹,晶体越大,效应越明显。”
顾昭昭在截面图上添了几个箭头,標出热流方向。
“两英寸的时候问题不大,尺寸小,温差效应弱。三英寸一上来,边缘应力就扛不住了。”
吴建华的脸沉下来了。
他干了几十年,热场梯度的重要性当然清楚。
可设备条件摆在那儿,一直默认单区控温够用。
“能不能改?”
吴建华没绕弯子。
“两个办法。”
顾昭昭竖起两根手指。
“第一个是换双区加热器,但你们现有的炉子改造起来至少两个月。”
“第二个是在坩堝外壁加一层导热均衡层。相当於给坩堝穿一件棉袄,把热量匀开。” ↑返回顶部↑