第290章 你们的硼,不乾净(2 / 6)
三片切好的废片搁在上面。
顾昭昭拿起一片,没去用显微镜,直接对著头顶的白炽灯管调整角度。
晶片表面泛起金属光泽。
“不是炉子的问题。”
她把晶片搁回托盘。
“是材料。”
吴建华站在旁边,温彻和两个研究员也凑了过来。
温彻背著军用挎包,掏出笔记本,笔帽一拧。
“液封直拉法,除了砷和鎵,还有什么?”
顾昭昭抬头问。
吴建华反应过来了:“三氧化二硼液封剂?”
“你们的硼,哪儿来的?”
“京市化学试剂厂,分析纯级別,纯度標称99.98%。”
顾昭昭蹲下去,看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。
“不够。”
吴建华皱眉。
“99.98%还不够?这已经是国內最高等级的分析纯了——”
“分析纯的標称是总体金属杂质含量。”
顾昭昭打断他,走到工作檯前,拿起一支粉笔,在旁边的小黑板上写了三个字。
“硅、碳、铁。”
“这三种痕量杂质只要有任何一个超標,在上千度高温下就会扩散进砷化鎵熔体。”
她又在黑板上画了个坩堝截面简图,三笔勾完。
吴建华盯著黑板,两只手插进裤兜又抽出来。
“我搞了三十年半导体,一直用分析纯的硼,从没人提过这个。”
“因为以前拉两英寸的,晶体小,生长时间短,杂质效应被掩盖了。”
顾昭昭看著他。
“三英寸,高温保持时间更久,杂质有足够的时间往晶格里钻。”
“尺寸一大,所有以前可以忽略的细节全变成瓶颈。”
吴建华沉默了十来秒。
“那怎么办?国內有没有更高纯度的?” ↑返回顶部↑
顾昭昭拿起一片,没去用显微镜,直接对著头顶的白炽灯管调整角度。
晶片表面泛起金属光泽。
“不是炉子的问题。”
她把晶片搁回托盘。
“是材料。”
吴建华站在旁边,温彻和两个研究员也凑了过来。
温彻背著军用挎包,掏出笔记本,笔帽一拧。
“液封直拉法,除了砷和鎵,还有什么?”
顾昭昭抬头问。
吴建华反应过来了:“三氧化二硼液封剂?”
“你们的硼,哪儿来的?”
“京市化学试剂厂,分析纯级別,纯度標称99.98%。”
顾昭昭蹲下去,看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。
“不够。”
吴建华皱眉。
“99.98%还不够?这已经是国內最高等级的分析纯了——”
“分析纯的標称是总体金属杂质含量。”
顾昭昭打断他,走到工作檯前,拿起一支粉笔,在旁边的小黑板上写了三个字。
“硅、碳、铁。”
“这三种痕量杂质只要有任何一个超標,在上千度高温下就会扩散进砷化鎵熔体。”
她又在黑板上画了个坩堝截面简图,三笔勾完。
吴建华盯著黑板,两只手插进裤兜又抽出来。
“我搞了三十年半导体,一直用分析纯的硼,从没人提过这个。”
“因为以前拉两英寸的,晶体小,生长时间短,杂质效应被掩盖了。”
顾昭昭看著他。
“三英寸,高温保持时间更久,杂质有足够的时间往晶格里钻。”
“尺寸一大,所有以前可以忽略的细节全变成瓶颈。”
吴建华沉默了十来秒。
“那怎么办?国內有没有更高纯度的?” ↑返回顶部↑