第291章 雷达的心臟,通了(2 / 4)
顾昭昭把晶片从夹具上取下,放到金相显微镜载物台上,俯身看了三秒钟。
“柵极金属走线偏移了將近一微米。”
顾昭昭直起身。
“光刻机套刻对准偏差造成的短路。废片。”
吴建华低下头,像个做错事的学生。
“咱们国產的接触式光刻机,套刻精度就那个德行。”
“设计的最小线宽已经放到了三微米,为了卡准你给的尺寸,老周他们在暗室里盯得眼睛都快瞎了,还是有偏差。”
“继续。”
顾昭昭没评判,夹起第五颗。
十颗晶片,测了整整四十分钟。
测试结果:两颗因为光刻套刻偏差报废,其余八颗,射频参数完全达標。
吴建华靠在桌沿上,满脸自责。
“顾总工,怪我们硬体不爭气。你给的理论那么完美,图纸那么精细,交到我手里,硬生生废了两成。这良品率……”
他连连摇头。
“老吴。”
林国栋抓著手里的测试记录单,抬起头打断他。
“你说啥?”
吴建华瞪他:“我说废了两成,丟人!”
林国栋把记录单重重拍在桌上。
“你管百分之八十的良品率,叫丟人?!”
林国栋指著那八颗完好的晶片。
“上个月我看美国军方实验室的內部刊物。他们搞单片集成的早期实验,良品率最高才百分之二三十,而且单颗输出功率连一瓦都到不了!”
“你拿国產的老爷车接触式光刻机,搞出了单片集成的高频功率晶片,一次流片,百分之八十良品率。你跟我说丟人?!”
旁边,赵建国和孙伟看吴建华的眼神,跟看外星人没区別。
吴建华愣住了。
他这两周被顾昭昭那套远超时代的参数折磨得神经衰弱,潜意识里一直拿顾昭昭的完美標准在要求自己。
完全忘了在这个年代,这数据是何等逆天的神跡。
顾昭昭在旁边翻开笔记本,用笔划掉一行字。
“受限於光刻机机械精度,良率百分之八十符合数学期望。不是你们的问题,是设备的物理极限。”
她合上笔盖。 ↑返回顶部↑
“柵极金属走线偏移了將近一微米。”
顾昭昭直起身。
“光刻机套刻对准偏差造成的短路。废片。”
吴建华低下头,像个做错事的学生。
“咱们国產的接触式光刻机,套刻精度就那个德行。”
“设计的最小线宽已经放到了三微米,为了卡准你给的尺寸,老周他们在暗室里盯得眼睛都快瞎了,还是有偏差。”
“继续。”
顾昭昭没评判,夹起第五颗。
十颗晶片,测了整整四十分钟。
测试结果:两颗因为光刻套刻偏差报废,其余八颗,射频参数完全达標。
吴建华靠在桌沿上,满脸自责。
“顾总工,怪我们硬体不爭气。你给的理论那么完美,图纸那么精细,交到我手里,硬生生废了两成。这良品率……”
他连连摇头。
“老吴。”
林国栋抓著手里的测试记录单,抬起头打断他。
“你说啥?”
吴建华瞪他:“我说废了两成,丟人!”
林国栋把记录单重重拍在桌上。
“你管百分之八十的良品率,叫丟人?!”
林国栋指著那八颗完好的晶片。
“上个月我看美国军方实验室的內部刊物。他们搞单片集成的早期实验,良品率最高才百分之二三十,而且单颗输出功率连一瓦都到不了!”
“你拿国產的老爷车接触式光刻机,搞出了单片集成的高频功率晶片,一次流片,百分之八十良品率。你跟我说丟人?!”
旁边,赵建国和孙伟看吴建华的眼神,跟看外星人没区別。
吴建华愣住了。
他这两周被顾昭昭那套远超时代的参数折磨得神经衰弱,潜意识里一直拿顾昭昭的完美標准在要求自己。
完全忘了在这个年代,这数据是何等逆天的神跡。
顾昭昭在旁边翻开笔记本,用笔划掉一行字。
“受限於光刻机机械精度,良率百分之八十符合数学期望。不是你们的问题,是设备的物理极限。”
她合上笔盖。 ↑返回顶部↑