第320章 你的手比光刻机更不可替代（3 / 6）
“光源用了多久没换？”
“这批灯管……”吴建华想了想，“装上去大概四百个小时。”
“掩模版的材质？”
“钠钙玻璃。”
话筒那头没声了。
吴建华握著听筒，手心出了汗。
电话线里传来极轻微的翻页声。
顾昭昭在翻她的笔记本。
“吴所长，三个问题。”
吴建华猛地挺直腰板。
“第一，你的暗室温控做到正负一度，对接触式光刻来说不够。”
吴建华捏紧了话筒。
“零点五微米的变形，叠加导轨的机械漂移，你的套刻误差直接翻倍。”
“后段的废片，至少有一半是这个原因。”
“第二，光源衰减。”
“四百小时的紫外灯管，输出强度至少下降了百分之十五。”
吴建华把听筒换到左手，右手摸起铅笔快速记录。
“解决办法——去找一台高精度的恆温机组，把暗室温控精度压到正负零点三度以內。”
“灯管立刻换新。”
“每做完五十片，停机重新校准一次套刻对准標记。”
“不要贪快。”
吴建华记完最后一个字，笔尖在纸上戳出一个黑点。
“顾总工，明白了。”
“第三。”
“还有？”
“你三天没睡了。”
电话这头只剩呼吸声。
“人的手在连续工作七十二小时之后，精细操作的稳定性会下降百分之四十。”
“你现在上手操作，只会增加废品率。”
吴建华一时语塞。 ↑返回顶部↑
“这批灯管……”吴建华想了想，“装上去大概四百个小时。”
“掩模版的材质？”
“钠钙玻璃。”
话筒那头没声了。
吴建华握著听筒，手心出了汗。
电话线里传来极轻微的翻页声。
顾昭昭在翻她的笔记本。
“吴所长，三个问题。”
吴建华猛地挺直腰板。
“第一，你的暗室温控做到正负一度，对接触式光刻来说不够。”
吴建华捏紧了话筒。
“零点五微米的变形，叠加导轨的机械漂移，你的套刻误差直接翻倍。”
“后段的废片，至少有一半是这个原因。”
“第二，光源衰减。”
“四百小时的紫外灯管，输出强度至少下降了百分之十五。”
吴建华把听筒换到左手，右手摸起铅笔快速记录。
“解决办法——去找一台高精度的恆温机组，把暗室温控精度压到正负零点三度以內。”
“灯管立刻换新。”
“每做完五十片，停机重新校准一次套刻对准標记。”
“不要贪快。”
吴建华记完最后一个字，笔尖在纸上戳出一个黑点。
“顾总工，明白了。”
“第三。”
“还有？”
“你三天没睡了。”
电话这头只剩呼吸声。
“人的手在连续工作七十二小时之后，精细操作的稳定性会下降百分之四十。”
“你现在上手操作，只会增加废品率。”
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