第403章 让你热馒头，你跟锅盖分析受热变形？（1 / 3）
顾晴挠了挠头髮，乾笑了一声，赶紧打圆场。
“懂了懂了。刚才就是嘴碎，话顺著嘴边禿嚕出来了。”
顾昭昭把那份年报重新推回她眼皮底下。
“你能懂，说明你比大部分人都聪明。好奇是人类的正常生理反应，但科研保密，从来不按血缘亲情来分配权限。”
顾晴被噎得翻了个白眼。
“你这话听著是真硬邦邦的，但我居然觉得该死的有道理！”
顾昭昭重新捏起铅笔，一秒切回学霸辅导模式。
“接著看你的参数表吧。这个没出公开范围，隨便讲。”
顾晴那点小尷尬瞬间被这句话给扫空了，立马坐得溜直。
“讲讲讲！今天高低得把你脑子里的墨水多榨点出来。”
顾昭昭在白纸上刷刷列出蒸镀功率、沉积速率、基板温度三列数据，又补了个膜厚均匀性。
“你这组数据最大的坑，就是把功率和生长速率当成简单的线性关係来算了。”
顾晴眉头拧成了一个疙瘩。
“不是功率给得越大，长得就越快吗？”
“在低功率区你可以这么凑合算，但越过一定閾值后，基板表面的迁移过程就成了拖后腿的限制因素。这时候你功率还不管不顾地往上猛加，速率不但不会按比例涨，反而会让表面粗糙度直接飆升。”
顾昭昭拿过木尺压住纸边，行云流水般画出一条精准的对数擬合曲线。
“看这儿。八十瓦到一百二十瓦之间，长势確实喜人。但一过一百二十瓦，曲线就开始平了。到了一百五十瓦附近，膜层质量已经明显往下掉了。你们现在光顾著追求出膜快，把工艺窗口全推过头了。”
顾晴盯著那条堪称完美的曲线，嘴巴慢慢张成了“o”型。
“所以，最佳功率压根就不是最大功率，而是在一百一到一百二之间？”
“对。再配上一百八十五到一百九十五度的基板温度，真空度稳住，膜厚均匀性绝对能有个质的飞跃。”
顾昭昭在旁边利索地写下两行字。
【推荐工艺窗口：p=110—120w，t=185—195c，需强制加入温控反馈。】
顾晴盯著那张纸，眼珠子都不捨得错一下。
“乖乖……我开学要是把这张纸拍到梁院长桌上，他能激动得当场把实验室那台破温控仪给砸了重焊！”
“別说是我定的。”顾昭昭严谨地提醒她，“你就说是根据现有的残缺数据，做出的擬合推断。以梁院长的水平，他看得懂这里的逻辑。”
顾晴立马像供著宝贝似的把纸叠好，小心翼翼地夹进笔记本最中间。
“懂，绝对不给你惹麻烦！不过我要是大言不惭地吹牛说这是我想出来的，估计梁院长也不信啊。”
顾昭昭顺手翻开了她的实验笔记。
“我再看看別的。”
顾晴立马坐不住了，连连摆手求饶。 ↑返回顶部↑
“懂了懂了。刚才就是嘴碎，话顺著嘴边禿嚕出来了。”
顾昭昭把那份年报重新推回她眼皮底下。
“你能懂，说明你比大部分人都聪明。好奇是人类的正常生理反应，但科研保密，从来不按血缘亲情来分配权限。”
顾晴被噎得翻了个白眼。
“你这话听著是真硬邦邦的，但我居然觉得该死的有道理！”
顾昭昭重新捏起铅笔，一秒切回学霸辅导模式。
“接著看你的参数表吧。这个没出公开范围，隨便讲。”
顾晴那点小尷尬瞬间被这句话给扫空了，立马坐得溜直。
“讲讲讲！今天高低得把你脑子里的墨水多榨点出来。”
顾昭昭在白纸上刷刷列出蒸镀功率、沉积速率、基板温度三列数据，又补了个膜厚均匀性。
“你这组数据最大的坑，就是把功率和生长速率当成简单的线性关係来算了。”
顾晴眉头拧成了一个疙瘩。
“不是功率给得越大，长得就越快吗？”
“在低功率区你可以这么凑合算，但越过一定閾值后，基板表面的迁移过程就成了拖后腿的限制因素。这时候你功率还不管不顾地往上猛加，速率不但不会按比例涨，反而会让表面粗糙度直接飆升。”
顾昭昭拿过木尺压住纸边，行云流水般画出一条精准的对数擬合曲线。
“看这儿。八十瓦到一百二十瓦之间，长势確实喜人。但一过一百二十瓦，曲线就开始平了。到了一百五十瓦附近，膜层质量已经明显往下掉了。你们现在光顾著追求出膜快，把工艺窗口全推过头了。”
顾晴盯著那条堪称完美的曲线，嘴巴慢慢张成了“o”型。
“所以，最佳功率压根就不是最大功率，而是在一百一到一百二之间？”
“对。再配上一百八十五到一百九十五度的基板温度，真空度稳住，膜厚均匀性绝对能有个质的飞跃。”
顾昭昭在旁边利索地写下两行字。
【推荐工艺窗口：p=110—120w，t=185—195c，需强制加入温控反馈。】
顾晴盯著那张纸，眼珠子都不捨得错一下。
“乖乖……我开学要是把这张纸拍到梁院长桌上，他能激动得当场把实验室那台破温控仪给砸了重焊！”
“別说是我定的。”顾昭昭严谨地提醒她，“你就说是根据现有的残缺数据，做出的擬合推断。以梁院长的水平，他看得懂这里的逻辑。”
顾晴立马像供著宝贝似的把纸叠好，小心翼翼地夹进笔记本最中间。
“懂，绝对不给你惹麻烦！不过我要是大言不惭地吹牛说这是我想出来的，估计梁院长也不信啊。”
顾昭昭顺手翻开了她的实验笔记。
“我再看看別的。”
顾晴立马坐不住了，连连摆手求饶。 ↑返回顶部↑