第227章 六百亿大订单!(1 / 5)
在眾人的目光中,演示正式开始。
只见一条精密的机械臂,从机身侧面平稳地伸出。
精准地从晶圆盒中夹起一片薄如蝉翼的12英寸硅晶圆。
然后悄无声息地將其放置在工作檯上。
“第一步,装载晶圆並进行预对准。”陆友的声音平静地响起。
隨后工作檯高速旋转起来,一滴胶状的液体精准地滴落在晶圆中心。
隨著旋转均匀地铺展开来,形成一层薄而均匀的膜。
“第二步,涂覆光刻胶。”
紧接著,承载著晶圆的工作檯瞬间移动到了巨大的曝光腔体內。
腔门关闭,整个房间的光线都暗淡了下来。
启明一號的机身上亮起了一排排指示灯。
虽然看不到內部的景象,但所有人都知道,最核心的步骤——光刻曝光,正在进行。
大佬们屏住呼吸,眼睛一眨不眨地盯著机身。
儘管什么都看不到,但他们能感觉到,一种无形的力量正在那腔体內创造著奇蹟。
仅仅几十秒后,嗡嗡声停止。
腔门开启,工作檯再次以惊人的速度移出。
“第三步,曝光完成。”
“接下来是后烘、显影、蚀刻、去胶等一系列自动化流程。”陆友指著晶圆在机体內部的不同模组间快速传递的过程。
整个过程没有一丝多余的动作,没有一点点噪音。
几分钟后,那片晶圆再次被机械臂平稳地送到成品检测台上,所有人都下意识地向前凑了一步。
从放入一片空白晶圆,到拿出一片刻满电路的成品。
整个过程加起来,竟然不超过十分钟!
这是什么效率?!
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要知道,传统的euv光刻流程,光是曝光一个晶圆,就需要相当长的时间,更不用说前后复杂的工序。
启明一號的效率,至少是现有最顶级光刻机的数倍,甚至十数倍!
“请看大萤幕。”陆友指向旁边的一块巨型显示屏。
萤幕上,立刻出现了刚刚生產出的那片晶圆的显微影象。
在放大了数百万倍之后,那比奈米还精细的电路结构清晰地呈现在眾人面前。
线条流畅、边缘锐利,没有任何毛刺和缺陷。 ↑返回顶部↑
只见一条精密的机械臂,从机身侧面平稳地伸出。
精准地从晶圆盒中夹起一片薄如蝉翼的12英寸硅晶圆。
然后悄无声息地將其放置在工作檯上。
“第一步,装载晶圆並进行预对准。”陆友的声音平静地响起。
隨后工作檯高速旋转起来,一滴胶状的液体精准地滴落在晶圆中心。
隨著旋转均匀地铺展开来,形成一层薄而均匀的膜。
“第二步,涂覆光刻胶。”
紧接著,承载著晶圆的工作檯瞬间移动到了巨大的曝光腔体內。
腔门关闭,整个房间的光线都暗淡了下来。
启明一號的机身上亮起了一排排指示灯。
虽然看不到內部的景象,但所有人都知道,最核心的步骤——光刻曝光,正在进行。
大佬们屏住呼吸,眼睛一眨不眨地盯著机身。
儘管什么都看不到,但他们能感觉到,一种无形的力量正在那腔体內创造著奇蹟。
仅仅几十秒后,嗡嗡声停止。
腔门开启,工作檯再次以惊人的速度移出。
“第三步,曝光完成。”
“接下来是后烘、显影、蚀刻、去胶等一系列自动化流程。”陆友指著晶圆在机体內部的不同模组间快速传递的过程。
整个过程没有一丝多余的动作,没有一点点噪音。
几分钟后,那片晶圆再次被机械臂平稳地送到成品检测台上,所有人都下意识地向前凑了一步。
从放入一片空白晶圆,到拿出一片刻满电路的成品。
整个过程加起来,竟然不超过十分钟!
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启明一號的效率,至少是现有最顶级光刻机的数倍,甚至十数倍!
“请看大萤幕。”陆友指向旁边的一块巨型显示屏。
萤幕上,立刻出现了刚刚生產出的那片晶圆的显微影象。
在放大了数百万倍之后,那比奈米还精细的电路结构清晰地呈现在眾人面前。
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