第230章 流片成功！（2 / 3）
“开始粗对！”
沈永健的声音低沉。
工作檯和掩膜版架在步进电机的驱动下开始微动。
很快硅片上的標记与掩膜版上的標记开始重合。
“粗对完成。”
…
“进入精对！”
隨著沈永健有条不紊的指挥，卓邵文紧听其號令，在精调旋钮上以几乎难以察觉的幅度转动。
十几秒的精细调整后，两个標记完美重合！
“对准完成！锁定！”
卓邵文的声音带著一丝不易察觉的颤抖，额角已渗出汗珠。
“设置曝光剂量…启动！”
话音落下的瞬间，高强度的汞灯光源再次提亮，经过复杂的光路系统和那个崭新的高精度物镜，將掩膜版上的精细图形按比例缩小，精確地投影到硅片表面的光刻胶上。
被光线照射区域的光刻胶发生化学反应。
整个曝光过程只有几秒钟，但紫光透过观察窗映在眾人脸上，气氛庄严而神圣。
曹文三和曲嵩等人在一旁，下意识地咽了口口水。
“步进！”
第一个区域曝光完成，工作檯在精密导轨带动下，精確移动一个晶片的距离，將下一个未曝光的区域移动到镜头下。
对准系统再次快速进行局部微调，然后再次曝光。
如此反覆，直到整片硅片的所有晶片区域都完成这一层图形的曝光。
张伟森紧盯著控制屏上的进度条，顾江河则紧张地记录著步骤。
12英寸的晶圆，光是一片步进曝光最终都耗时近一个半小时。
三片晶圆全都完成后，时间早已到了下午一点多。
曝光完成的硅片被吴培书迅速转移至专用的热板上进行短暂加热，以稳定曝光图形。
之后则被其放入显影槽进行显影工作。
一步步的流程之后，最终才进入蚀刻阶段。
一直到晚上六点多，三片晶圆的流片工作才结束。
眾人无论是有操作工作的，还是车间內等待的同志，都已经空了一整天肚子。
但这会儿眾人非但不累，反而愈发激动与紧张！
隨著吴培书將蚀刻后剩余的光刻胶彻底除去，清洗乾净后的硅片被送到进口的高倍率显微镜下。 ↑返回顶部↑
沈永健的声音低沉。
工作檯和掩膜版架在步进电机的驱动下开始微动。
很快硅片上的標记与掩膜版上的標记开始重合。
“粗对完成。”
…
“进入精对！”
隨著沈永健有条不紊的指挥，卓邵文紧听其號令，在精调旋钮上以几乎难以察觉的幅度转动。
十几秒的精细调整后，两个標记完美重合！
“对准完成！锁定！”
卓邵文的声音带著一丝不易察觉的颤抖，额角已渗出汗珠。
“设置曝光剂量…启动！”
话音落下的瞬间，高强度的汞灯光源再次提亮，经过复杂的光路系统和那个崭新的高精度物镜，將掩膜版上的精细图形按比例缩小，精確地投影到硅片表面的光刻胶上。
被光线照射区域的光刻胶发生化学反应。
整个曝光过程只有几秒钟，但紫光透过观察窗映在眾人脸上，气氛庄严而神圣。
曹文三和曲嵩等人在一旁，下意识地咽了口口水。
“步进！”
第一个区域曝光完成，工作檯在精密导轨带动下，精確移动一个晶片的距离，將下一个未曝光的区域移动到镜头下。
对准系统再次快速进行局部微调，然后再次曝光。
如此反覆，直到整片硅片的所有晶片区域都完成这一层图形的曝光。
张伟森紧盯著控制屏上的进度条，顾江河则紧张地记录著步骤。
12英寸的晶圆，光是一片步进曝光最终都耗时近一个半小时。
三片晶圆全都完成后，时间早已到了下午一点多。
曝光完成的硅片被吴培书迅速转移至专用的热板上进行短暂加热，以稳定曝光图形。
之后则被其放入显影槽进行显影工作。
一步步的流程之后，最终才进入蚀刻阶段。
一直到晚上六点多，三片晶圆的流片工作才结束。
眾人无论是有操作工作的，还是车间內等待的同志，都已经空了一整天肚子。
但这会儿眾人非但不累，反而愈发激动与紧张！
隨著吴培书將蚀刻后剩余的光刻胶彻底除去，清洗乾净后的硅片被送到进口的高倍率显微镜下。 ↑返回顶部↑