第803章 没见过正常，我刚想到的。（1 / 2）
欧皇妲没回答，而是伸出手指在屏幕上划了几下，放大了一张分子量分布图。
然后又抱著奶茶，小口吸了几口，认真的思考起来。
身后的程新彤，以及一眾专家都紧盯著这娇小的背影。
“问题在这儿。”她指著图上一处不太明显的肩峰，说道：“你们的聚合物合成工艺里，链转移控制不够精准，导致高分子量组分占比偏高。
这部分虽然对解析度有帮助，但在曝光后会產生严重的链缠结效应，直接拉高了lwr。”
程新彤猛地站起身，快步走到屏幕前死死盯著那张图。身后的几个研究员也凑了过来，神色各异。
“可是……”之前那个戴眼镜的研究员迟疑道，“我们做过gpc测试，分散度已经控制在1.2以下了，这在国內算顶尖水平了。”
“1.2对28nm够用，对13nm远远不够。”欧皇妲语气平淡，虽然她没做过这个实验，但是冥冥之中她脑子里有个数字在跳出来似的。
略微停顿后，她说道：“你可以试试把分散度压到1……1.05以下，同时要把高分子量尾端完全切掉。
另外，你们的產酸剂和淬灭剂的比例也有问题——在这么短的曝光波长下，酸扩散长度必须控制在5nm以內。你们现在的配方，酸扩散长度至少在9到10nm。”
程新彤深吸一口气：“这个我们也意识到了，但是调整比例之后敏感度就会大幅下降……”
“那是因为你们用的淬灭剂扩散係数太高了。”欧皇妲打断了她，伸手从白板上拿起一支笔，刷刷刷写下一串分子式，“试试这个，刚合成的含氟负离子配对的三级胺盐。
它的扩散係数比你们现在用的低两个数量级，而且热稳定性更好。產酸剂那边，把阴离子换成这个结构——”
她又写了一串更长的分子式。
会议室里鸦雀无声。所有研究员都在盯著白板上那些陌生的化学结构。
程新彤第一个反应过来，声音有些发颤：“小师妹，这个產酸剂的结构……我没见过。”
“嗯……我刚想到的。”欧皇妲眨了眨眼，略微尷尬的挠著头，“如果能够实现，那光吸收截面比现有的提高约40%，而且分解產酸的量子產率能达到0.85。你们可以做个模擬验证一下。”
“刚……刚想到的？”那个眼镜研究员差点被自己口水呛到。
眾人像看著怪物似的盯著欧皇妲。
作为欧皇妲入职以来最熟悉的闺蜜，秦嵐对此早已经见怪不怪。
別说是一群博士，就是院士，也很震惊的好吧。
她甚至还暗暗窃喜，“这新彤的光刻胶，是在小妲的帮助下突破的，那採购价格，是不是得便宜点呢？”
程新彤却已经掏出手机对著白板拍照，同时转头对助理说：“快，去把合成实验室的刘工叫来，让他看看这个结构能不能做出来。”
助理飞奔而去。
欧皇妲又吸了口奶茶，似乎想起了什么：“对了，师姐，你们现在的光刻胶树脂里还在用羥基保护基团对吧？”
“对，传统的叔丁氧羰基保护。”
“换掉吧。”欧皇妲乾脆利落地说，“改成缩醛类保护基团。脱保护活化能更低，而且不会產生小分子气体副產物，能大幅降低缺陷率——大概能把缺陷密度压到每平方厘米3个以下的，就差不多了。。”
程新彤觉得自己有点头晕。这些困扰了她大半年的难题，在欧皇妲嘴里就像是在说今天天气不错似的轻鬆自如。
“小师妹，你说的这些……都需要重新验证工艺窗口，三个月时间可能……”程新彤咬住嘴唇，声音里带著明显的不確定。
事实上，她知道，自己没有三个月，甚至一个月都没有！ ↑返回顶部↑
然后又抱著奶茶，小口吸了几口，认真的思考起来。
身后的程新彤，以及一眾专家都紧盯著这娇小的背影。
“问题在这儿。”她指著图上一处不太明显的肩峰，说道：“你们的聚合物合成工艺里，链转移控制不够精准，导致高分子量组分占比偏高。
这部分虽然对解析度有帮助，但在曝光后会產生严重的链缠结效应，直接拉高了lwr。”
程新彤猛地站起身，快步走到屏幕前死死盯著那张图。身后的几个研究员也凑了过来，神色各异。
“可是……”之前那个戴眼镜的研究员迟疑道，“我们做过gpc测试，分散度已经控制在1.2以下了，这在国內算顶尖水平了。”
“1.2对28nm够用，对13nm远远不够。”欧皇妲语气平淡，虽然她没做过这个实验，但是冥冥之中她脑子里有个数字在跳出来似的。
略微停顿后，她说道：“你可以试试把分散度压到1……1.05以下，同时要把高分子量尾端完全切掉。
另外，你们的產酸剂和淬灭剂的比例也有问题——在这么短的曝光波长下，酸扩散长度必须控制在5nm以內。你们现在的配方，酸扩散长度至少在9到10nm。”
程新彤深吸一口气：“这个我们也意识到了，但是调整比例之后敏感度就会大幅下降……”
“那是因为你们用的淬灭剂扩散係数太高了。”欧皇妲打断了她，伸手从白板上拿起一支笔，刷刷刷写下一串分子式，“试试这个，刚合成的含氟负离子配对的三级胺盐。
它的扩散係数比你们现在用的低两个数量级，而且热稳定性更好。產酸剂那边，把阴离子换成这个结构——”
她又写了一串更长的分子式。
会议室里鸦雀无声。所有研究员都在盯著白板上那些陌生的化学结构。
程新彤第一个反应过来，声音有些发颤：“小师妹，这个產酸剂的结构……我没见过。”
“嗯……我刚想到的。”欧皇妲眨了眨眼，略微尷尬的挠著头，“如果能够实现，那光吸收截面比现有的提高约40%，而且分解產酸的量子產率能达到0.85。你们可以做个模擬验证一下。”
“刚……刚想到的？”那个眼镜研究员差点被自己口水呛到。
眾人像看著怪物似的盯著欧皇妲。
作为欧皇妲入职以来最熟悉的闺蜜，秦嵐对此早已经见怪不怪。
別说是一群博士，就是院士，也很震惊的好吧。
她甚至还暗暗窃喜，“这新彤的光刻胶，是在小妲的帮助下突破的，那採购价格，是不是得便宜点呢？”
程新彤却已经掏出手机对著白板拍照，同时转头对助理说：“快，去把合成实验室的刘工叫来，让他看看这个结构能不能做出来。”
助理飞奔而去。
欧皇妲又吸了口奶茶，似乎想起了什么：“对了，师姐，你们现在的光刻胶树脂里还在用羥基保护基团对吧？”
“对，传统的叔丁氧羰基保护。”
“换掉吧。”欧皇妲乾脆利落地说，“改成缩醛类保护基团。脱保护活化能更低，而且不会產生小分子气体副產物，能大幅降低缺陷率——大概能把缺陷密度压到每平方厘米3个以下的，就差不多了。。”
程新彤觉得自己有点头晕。这些困扰了她大半年的难题，在欧皇妲嘴里就像是在说今天天气不错似的轻鬆自如。
“小师妹，你说的这些……都需要重新验证工艺窗口，三个月时间可能……”程新彤咬住嘴唇，声音里带著明显的不確定。
事实上，她知道，自己没有三个月，甚至一个月都没有！ ↑返回顶部↑