第133章光子载流晶片成功问世（3 / 6）
也不会告诉她，两万的月租，是他让纪嫣然安排的人“象徵性”收的。
他回了条文字消息：
“恭喜捡漏。我这段时间有重要的事要忙，珠宝店的事得靠你自己了。开业那天我保证到场。”
发完，把手机扣在控制台上，继续盯著屏幕。
离子束刻蚀机正在对沉积完激子材料的晶圆进行图形化。
亚纳米级的离子束在精密电磁场的控制下，像最顶级的雕刻师，在晶圆表面刻画出复杂的电路图案。
这一步的精度要求高到变態。
传统光刻机需要多重曝光、浸润式技术，才能勉强达到几纳米的线宽。
而离子束刻蚀——直接跳过光刻步骤，用带电粒子轰击材料表面，进行物理刻蚀。
精度更高。
可控性更强。
最关键的是——
完全绕开了光刻机。
李亦辰看著屏幕上实时反馈的刻蚀深度数据。
零点五纳米。
线宽零点五纳米。
沟槽深度三纳米。
误差控制在正负零点零一纳米以內。
完美。
——
又是一个星期过去。
李亦辰下巴上的胡茬又冒了出来，眼眶底下那圈青黑比一个月前在三十二楼熬超算时还要深。
但他整个人却处在一种极度亢奋的状態里。
控制台屏幕上，最后一道工序——金属互联层沉积——正在进行。
银白色的金属材料通过溅射工艺，均匀覆盖在刻蚀好的沟槽內，形成晶片內部的导线网络。
进度条走到百分之百。
机械臂將完成所有工序的晶圆从沉积腔室里取出，转移到切割台。
金刚石刀片落下。
晶圆被切割成指甲盖大小的单个晶片。
机械臂夹起其中一枚，送到李亦辰面前的控制台上。 ↑返回顶部↑
他回了条文字消息：
“恭喜捡漏。我这段时间有重要的事要忙，珠宝店的事得靠你自己了。开业那天我保证到场。”
发完，把手机扣在控制台上，继续盯著屏幕。
离子束刻蚀机正在对沉积完激子材料的晶圆进行图形化。
亚纳米级的离子束在精密电磁场的控制下，像最顶级的雕刻师，在晶圆表面刻画出复杂的电路图案。
这一步的精度要求高到变態。
传统光刻机需要多重曝光、浸润式技术，才能勉强达到几纳米的线宽。
而离子束刻蚀——直接跳过光刻步骤，用带电粒子轰击材料表面，进行物理刻蚀。
精度更高。
可控性更强。
最关键的是——
完全绕开了光刻机。
李亦辰看著屏幕上实时反馈的刻蚀深度数据。
零点五纳米。
线宽零点五纳米。
沟槽深度三纳米。
误差控制在正负零点零一纳米以內。
完美。
——
又是一个星期过去。
李亦辰下巴上的胡茬又冒了出来，眼眶底下那圈青黑比一个月前在三十二楼熬超算时还要深。
但他整个人却处在一种极度亢奋的状態里。
控制台屏幕上，最后一道工序——金属互联层沉积——正在进行。
银白色的金属材料通过溅射工艺，均匀覆盖在刻蚀好的沟槽內，形成晶片內部的导线网络。
进度条走到百分之百。
机械臂將完成所有工序的晶圆从沉积腔室里取出，转移到切割台。
金刚石刀片落下。
晶圆被切割成指甲盖大小的单个晶片。
机械臂夹起其中一枚，送到李亦辰面前的控制台上。 ↑返回顶部↑