第244章 流片数据出炉,光刻机主体成功(2 / 5)

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  这是人之常情。
  “你就放心吧老贺,咱们的逐光肯定能经受检验。”丁顺安闻言,及时接过话茬,成功转移贺鹏涛的注意力。
  作为逐光系列光刻机的研发人员,就相当於是把孩子养大的父母。
  自家孩子究竟是个什么水准,基本是心知肚明。
  流片验证虽尚未开始,但最终结果如何,多少会有一个预期数值。
  徐铭依旧保持著冷静的思维,將贺鹏涛和丁顺安两位的交流,悉数听进耳中,虽想说些宽慰的话,给他们吃上一颗定心丸,但嘴唇微动下,还是把话给咽了回去。
  逐光极紫外光刻机,和璇璣系统eda算法工具,他自然是胸有成竹信心满满。
  但要知道一件事,流片验证的数据,可不单靠这两项左右,其中任何一个环节都能產生影响。
  比如较为关键的光刻胶。
  原本他的打算,是想通过璇璣系统,反向设计適配的高端光刻胶,儘管这会延长流片验证的日子,却可以保证良品率。
  刚好科学院化学研究所,在国產光刻胶的研究上,取得了新突破。
  便索性提前进行流片验证。
  毕竟站在上面的角度,留给国內的时间確实不多,必须尽最大努力,和阿斯麦同步推出极紫外光刻机,把行业可能会受到的衝击损失,减低至最小范围。
  於是念头停留在这里,他方沉声吐出一句话。
  “开始工作吧,流片验证的数据如何,很快我们就能知道。”
  隨著话音落下,身旁的贺鹏涛和丁顺安,也一改刚才脸上的笑容,神情变得严肃认真。
  点点头前往各自的工作区域,指挥科研人员调试。
  为流片验证做最后准备。
  伴隨时间一分一秒流逝,机房现场的氛围,因逐渐瀰漫的紧张感,变得有些窒息。
  连余高远等场外人员,都仿佛要屏住呼吸。
  生怕因为自己发出的动静,导致今天的流片验证出现问题。
  不知道过去多久,只听站在操作台前的潘耀,突然开口向徐铭进行匯报,总算暂时打破眼下的氛围。
  “报告徐总师,设备已调试完毕,隨时可以进行流片。”
  说完。
  负责优化璇璣系统的苏振豪,同样不再保持沉默,紧跟在潘耀的话后,也停下手上动作,转过身报告工作进度。
  “璇璣系统优化完成。”
  闻言徐铭猛地从椅子上站起身。
  目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过,然后看向贺鹏涛和丁顺安,在短暂的眼神交流后,下秒便不再过多耽搁时间,立即下达了最重要的指令。
  “开始吧。”
  “是徐总设计师。”潘耀和苏振豪几乎同时回应。 ↑返回顶部↑

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