第244章 流片数据出炉，光刻机主体成功（3 / 5）
紧接著所有科研人员，再次投入到紧张的工作状態，神情保持著高度专注。
此次流片验证採用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇璣系统软体生成。
包括解析度测试图案，套刻精度標誌，电性测试机构，和特殊监测图形等。
不多时。
在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看著第一片硅片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。
当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇璣输出的工艺档和珠光的標准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成製造后，进行光学量测和电子显微镜检测。
或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终於捨得主动开口。
“真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经歷过这种心情了。”
说这句话时，故作轻鬆的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。
“大家的压力確实不小。”贺鹏涛点点头附和句。
前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：“国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。”
他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位於国內领先地位。
对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。
此次整合国內资源，成立国家集成电路製造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。
负责国產高端光刻胶的研发工作。
其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭藉自身实力和天赋，带领光刻机和晶片设计软体，快速实现技术叠代。
以至於经常能在网上看到，又有新的进展新闻。
这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有著巨大的压力。
只能依靠自身。
尽最大努力，保证国產高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。
毕竟大家所在工作属於一个整体，任何人掉队都不行。
幸好他们的运气还算不错，在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕，成功合成一种效果更好的光刻胶。
远超过当前国內的光刻胶水平。
而正当他思维快速运转，脑海中一直想著流片结果时，耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。
“我们要看的，不是能不能做出图形，而是现实与预测的偏差，究竟有多少原子。”徐铭看向周启深院士，神情很是认真的接话，他对流片数据的要求，远比现场人要高。
如果说其他人的目標，是晶片製造技术，追赶上阿斯麦设备的產品。
那么他则是要超过。
况且在付出这么多努力和心血后，想达成这一点，也並非是什么不可能做到的事。
余高远对徐铭的了解，无疑要比现场任何人都深。
他在听到这句话，当即应和道：“有你的这句话，我对流片结果可是更加期待了，看来又要给我惊喜。” ↑返回顶部↑
此次流片验证採用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇璣系统软体生成。
包括解析度测试图案，套刻精度標誌，电性测试机构，和特殊监测图形等。
不多时。
在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看著第一片硅片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。
当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇璣输出的工艺档和珠光的標准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成製造后，进行光学量测和电子显微镜检测。
或许是看到氛围太过严肃，这个时候一直没发言的余高远，终於捨得主动开口。
“真让人惊心动魄啊，不知道有多久，没经歷过这种心情了。”
说这句话时，故作轻鬆的语气，和脸上堆出的微笑，为大家的情绪增添一些不同的波动。
“大家的压力確实不小。”贺鹏涛点点头附和句。
前脚话音刚落，身旁科学院化学研究所的周启深院士，也接过话茬道：“国家有徐总师这样的天才，我相信逐光极紫外光刻机，肯定能光刻出良好的各层图案。”
他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁，在光酸剂与树脂等分子设计，以及合成与作用机理等研究领域，位於国內领先地位。
对国家化学材料的发展，做出过重要贡献。
此次整合国內资源，成立国家集成电路製造研发创新中心，他所在化学研究所，也被纳入整合范围。
负责国產高端光刻胶的研发工作。
其中值得一提的是，徐铭擅长数学物理甚至信息学科，凭藉自身实力和天赋，带领光刻机和晶片设计软体，快速实现技术叠代。
以至於经常能在网上看到，又有新的进展新闻。
这对他们光刻胶项目组团队来讲，无疑有著巨大的压力。
只能依靠自身。
尽最大努力，保证国產高端光刻胶的研发，做到不拖其他项目部门的后腿。
毕竟大家所在工作属於一个整体，任何人掉队都不行。
幸好他们的运气还算不错，在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕，成功合成一种效果更好的光刻胶。
远超过当前国內的光刻胶水平。
而正当他思维快速运转，脑海中一直想著流片结果时，耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。
“我们要看的，不是能不能做出图形，而是现实与预测的偏差，究竟有多少原子。”徐铭看向周启深院士，神情很是认真的接话，他对流片数据的要求，远比现场人要高。
如果说其他人的目標，是晶片製造技术，追赶上阿斯麦设备的產品。
那么他则是要超过。
况且在付出这么多努力和心血后，想达成这一点，也並非是什么不可能做到的事。
余高远对徐铭的了解，无疑要比现场任何人都深。
他在听到这句话，当即应和道：“有你的这句话，我对流片结果可是更加期待了，看来又要给我惊喜。” ↑返回顶部↑