第1364章 膜厚控制（2 / 4）
张红旗问：“原价多少？”
“一批三百二十万美元，现在要四百八十万。”
张红旗没犹豫：“买。二十四小时內发货，到不了货换供应商。”
钱院士说：“国內没有替代供应商，这个纯度只有住友和德国贺利氏能做。”
张红旗说：“那就让他们发。钱的事我来办。”
掛了电话，张红旗打给刘浩。
刘浩在京城，刚从北影厂出来。
“浩子，走个帐。四百八十万美元，从香港帐户出，打到住友化学的指定帐户，今天之內到。”
刘浩问：“什么钱？”
“材料费，不多问。”
刘浩说：“行，我让陈默那边办。”
当天下午，陈默在香港操作。钱从瑞士帐户转到香港，再从香港打到东京。四个小时，到帐。
住友收到款，田中签了发货单。鉬靶材从横滨港装船，走海运，三天到鹏城。
八月八號，材料到了。
钱院士没急著装料。他带著团队蹲在溅射设备前，干了一件事。
改机器。
小周把设备的控制电路板拆出来。钱院士拿著手册上的参数，在白板上画了一个补偿模型。
“设备精度不够，用软体补。”
他让三个博士生把实验楼地下室的模擬集群调出来——四十台伺服器，全部接上——跑了一个补偿算法。
思路很简单：设备硬体做不到零点零二纳米的精度，就在每一层镀膜的过程中用传感器实时採集数据，反馈到算法里，算法即时修正下一步的沉积参数。
等於让一个手抖的人，靠一套自动修正系统，画出一条直线。
八月九號，凌晨两点，补偿参数跑出来了。
小周把参数灌进设备控制系统，重启。
溅射设备嗡嗡响了起来。
钱院士站在无尘室的观察窗外，看著里面。
第一层鉬膜，沉积开始。
传感器採集，数据回传，算法修正。第二层硅膜，沉积，採集，修正。
一层鉬，一层硅，交替沉积。
euv反射镜面需要四十对鉬硅多层膜——八十层，每层厚度不到七纳米。
八月十號，下午三点，八十层镀完。 ↑返回顶部↑
“一批三百二十万美元，现在要四百八十万。”
张红旗没犹豫：“买。二十四小时內发货，到不了货换供应商。”
钱院士说：“国內没有替代供应商，这个纯度只有住友和德国贺利氏能做。”
张红旗说：“那就让他们发。钱的事我来办。”
掛了电话，张红旗打给刘浩。
刘浩在京城，刚从北影厂出来。
“浩子，走个帐。四百八十万美元，从香港帐户出，打到住友化学的指定帐户，今天之內到。”
刘浩问：“什么钱？”
“材料费，不多问。”
刘浩说：“行，我让陈默那边办。”
当天下午，陈默在香港操作。钱从瑞士帐户转到香港，再从香港打到东京。四个小时，到帐。
住友收到款，田中签了发货单。鉬靶材从横滨港装船，走海运，三天到鹏城。
八月八號，材料到了。
钱院士没急著装料。他带著团队蹲在溅射设备前，干了一件事。
改机器。
小周把设备的控制电路板拆出来。钱院士拿著手册上的参数，在白板上画了一个补偿模型。
“设备精度不够，用软体补。”
他让三个博士生把实验楼地下室的模擬集群调出来——四十台伺服器，全部接上——跑了一个补偿算法。
思路很简单：设备硬体做不到零点零二纳米的精度，就在每一层镀膜的过程中用传感器实时採集数据，反馈到算法里，算法即时修正下一步的沉积参数。
等於让一个手抖的人，靠一套自动修正系统，画出一条直线。
八月九號，凌晨两点，补偿参数跑出来了。
小周把参数灌进设备控制系统，重启。
溅射设备嗡嗡响了起来。
钱院士站在无尘室的观察窗外，看著里面。
第一层鉬膜，沉积开始。
传感器採集，数据回传，算法修正。第二层硅膜，沉积，採集，修正。
一层鉬，一层硅，交替沉积。
euv反射镜面需要四十对鉬硅多层膜——八十层，每层厚度不到七纳米。
八月十號，下午三点，八十层镀完。 ↑返回顶部↑