第1364章 膜厚控制（3 / 4）
小周从无尘室里出来，手里端著一块圆形基片，直径十五厘米，表面泛著金属光泽。
钱院士接过来，放在检测台上。
椭偏仪启动，雷射打在镜面上，反射，探测器接收。
数据出来了。
小周看著屏幕，念数：“单层膜厚度误差，零点零三五纳米。”
钱院士没说话。
手册要求零点零二，他们做到了零点零三五。没达標，但比原来的零点零八好了一倍多。
“反射率呢？”
小周切换到下一组数据：“十三点五纳米波长，反射率百分之六十二点三。”
钱院士看著这个数字。
手册上蔡司的指標是百分之六十七，差了不到五个点。
但是，euv光刻机的最低工作门槛是百分之六十。
他们过线了。
钱院士走到角落，拿起电话。
“红旗，光打通了。”
张红旗在煤市街的院子里，正看著陈默送来的一份报告。
“什么意思？”
钱院士声音平稳：“极紫外光源，十三点五纳米，穿过反射镜面，形成了稳定光束。参数达到了euv光刻的最低发光標准。”
张红旗把手里的报告放下。
“钱老，您確认？”
“仪器记录的，白纸黑字。反射率百分之六十二点三，过了百分之六十的门槛。”
张红旗站了起来，走到院子里。槐树叶子在夜风里晃。
“这是第一步。”
钱院士说：“是第一步。后面还有光源系统、物镜组、工件台、掩模版，每一项都是硬骨头。但镜面这关，算是过了。”
张红旗说：“钱老，辛苦了。数据锁好，不要外传。”
“放心。”
掛了电话。
张红旗回到书房。桌上摊著麦佳佳从洛杉磯发来的一份行业报告。
他坐下来，翻到第十四页。
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数据出来了。
小周看著屏幕，念数：“单层膜厚度误差，零点零三五纳米。”
钱院士没说话。
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“反射率呢？”
小周切换到下一组数据：“十三点五纳米波长，反射率百分之六十二点三。”
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手册上蔡司的指標是百分之六十七，差了不到五个点。
但是，euv光刻机的最低工作门槛是百分之六十。
他们过线了。
钱院士走到角落，拿起电话。
“红旗，光打通了。”
张红旗在煤市街的院子里，正看著陈默送来的一份报告。
“什么意思？”
钱院士声音平稳：“极紫外光源，十三点五纳米，穿过反射镜面，形成了稳定光束。参数达到了euv光刻的最低发光標准。”
张红旗把手里的报告放下。
“钱老，您確认？”
“仪器记录的，白纸黑字。反射率百分之六十二点三，过了百分之六十的门槛。”
张红旗站了起来，走到院子里。槐树叶子在夜风里晃。
“这是第一步。”
钱院士说：“是第一步。后面还有光源系统、物镜组、工件台、掩模版，每一项都是硬骨头。但镜面这关，算是过了。”
张红旗说：“钱老，辛苦了。数据锁好，不要外传。”
“放心。”
掛了电话。
张红旗回到书房。桌上摊著麦佳佳从洛杉磯发来的一份行业报告。
他坐下来，翻到第十四页。
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