第82章 双管齐下,继续推进硅电晶体研製工作!(1 / 5)
第82章 双管齐下,继续推进硅电晶体研製工作!
次日,早。
江阳刚刚来到半导体实验室。
京机厂那边。
就送来了j5060通过最终测试的消息。
至此。
他们终於拥有了,能够完成製备,且满足光刻要求硅片的设备。
会议室內。
王寿吾正在对这段时间的研究成果,进行总结。
除开j5060外。
採用氧化铝研磨膏+铸铁拋光碟,以及化学腐蚀的方式。
完成了化学机械拋光。
並利用两台显微镜加一个紫外曝光灯,搭建了“土光刻机”。
虽说只能勉强实现10微米的线宽。
但也能满足最低图形解析度的需求。
当然。
也不是所有的研究都一帆风顺。
王寿吾道:
“光刻和扩散,是我们现在面临的两大难题。”
“手工光刻误差太大。”
“而开关扩散的掺杂,不仅存在波动,同一电晶体上的閾值电压差异——””
他说完后。
眾人陷入沉思。
江阳也没有著急开口,而是等待眾人討论。
毕竟他不能什么都解决。
没过多久。
很快便有人开口,道:
“我认为,可以尝试从光刻胶上取得突破。”
听到他的话。
所有人都下意识地看向江阳。 ↑返回顶部↑
次日,早。
江阳刚刚来到半导体实验室。
京机厂那边。
就送来了j5060通过最终测试的消息。
至此。
他们终於拥有了,能够完成製备,且满足光刻要求硅片的设备。
会议室內。
王寿吾正在对这段时间的研究成果,进行总结。
除开j5060外。
採用氧化铝研磨膏+铸铁拋光碟,以及化学腐蚀的方式。
完成了化学机械拋光。
並利用两台显微镜加一个紫外曝光灯,搭建了“土光刻机”。
虽说只能勉强实现10微米的线宽。
但也能满足最低图形解析度的需求。
当然。
也不是所有的研究都一帆风顺。
王寿吾道:
“光刻和扩散,是我们现在面临的两大难题。”
“手工光刻误差太大。”
“而开关扩散的掺杂,不仅存在波动,同一电晶体上的閾值电压差异——””
他说完后。
眾人陷入沉思。
江阳也没有著急开口,而是等待眾人討论。
毕竟他不能什么都解决。
没过多久。
很快便有人开口,道:
“我认为,可以尝试从光刻胶上取得突破。”
听到他的话。
所有人都下意识地看向江阳。 ↑返回顶部↑