第136章 近接式光刻机成功,集成电路突破!(2 / 6)
实验室內。
华国第一台近接式光刻机组装工作。
进入最终收尾阶段!
这段时间来。
在解决最关键的光学系统后。
江阳带领研究团队。
——
转移重心。
针对精密机械系统、对准与套刻系统、光刻胶涂覆与处理问题。
进行集中技术攻关。
因为先前已经让王寿吾带人研究。
有一定理论的支撑。
所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。
当然。
即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。
很多设计和结构上。
江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。
不过虽说精度下降。
但至少,能先解决有没有的问题。
在江阳的指挥下。
一项项步骤。
有条不紊地进行著。
他身边的王寿吾、林嵐因和黄坤等人。
都紧张得手心冒汗。
这种情况,一直持续到完成最后的测试。
负责组装的王志坚。
整理数据后。
走到江阳的面前,正声道:“江教授,成功了!”
听到这个消息。
所有人的脸上,终於浮现出笑容。 ↑返回顶部↑
华国第一台近接式光刻机组装工作。
进入最终收尾阶段!
这段时间来。
在解决最关键的光学系统后。
江阳带领研究团队。
——
转移重心。
针对精密机械系统、对准与套刻系统、光刻胶涂覆与处理问题。
进行集中技术攻关。
因为先前已经让王寿吾带人研究。
有一定理论的支撑。
所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。
当然。
即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。
很多设计和结构上。
江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。
不过虽说精度下降。
但至少,能先解决有没有的问题。
在江阳的指挥下。
一项项步骤。
有条不紊地进行著。
他身边的王寿吾、林嵐因和黄坤等人。
都紧张得手心冒汗。
这种情况,一直持续到完成最后的测试。
负责组装的王志坚。
整理数据后。
走到江阳的面前,正声道:“江教授,成功了!”
听到这个消息。
所有人的脸上,终於浮现出笑容。 ↑返回顶部↑