第425章 90纳米製程的突破（1 / 3）
这天，马宇腾的轿车驶入龙岗区雷霆晶片工厂，直抵办公楼前。
此前，晶片公司总经理肖光楠在电话中告知，90纳米製程已取得突破，他特意赶来亲眼看看成果。
轿车停稳，马宇腾推门下车。
肖光楠早已等在门口，见他出现，立刻迎上前去，脸上带著难以掩饰的兴奋。
“马总，欢迎您来雷霆晶片指导工作。”肖光楠说。
“走吧，带我去看看你们的成果。”
马宇腾言语简洁，目光直接投向生產区方向。
前往生產区域的路上，肖光楠边走边匯报：
“马总，上次向您报告90纳米製程试產有突破。这几周，我们持续调试和优化，现在已成功跑通整个工艺流程。儘管良品率还有提升空间，但技术路径已得到充分验证。”
他语气中透著一股自豪，这是团队夜以继日攻关的结晶。
两人抵达洁净室入口，按规定换上无尘服，戴好口罩与手套。
经过风淋室的严格净化，才得以进入生產腹地。
洁净室內，巨大的设备阵列排布，机械臂在各自轨道上精確运行，发出轻微的机械声。
空气中，一种微弱而奇特的气味，那是高科技与精密製造混合出的专属气息。
肖光楠引领在前，指著一台核心设备介绍：
“马总，这就是我们90纳米製程的实验线。目前，所有关键设备均已就位，並完成了初步集成与校准。”
马宇腾的目光落在那台庞大的机器上，它被严密的防护罩包裹，占据了洁净室的核心位置。
“这是浸没式光刻机？”马宇腾的声音透过口罩，略显低沉。
他想起数月前，与张如晶商谈时的情景。
“是的。”肖光楠回应。
“它採用193纳米波长的深紫外线光源，通过在镜头与晶圆间填充纯水，有效提升了数值孔径，从而实现更小的曝光尺寸。”
他指向机器侧面的显示屏，“您看，这是光刻机的工作状態参数。我们正在进行曝光测试。”
显示屏上，数据流转，光束路径、曝光强度、晶圆定位精度，各项技术指標跃然眼前。
“这台机器的精度，远超我们此前使用的乾式光刻机。”
肖光楠继续说。
“它的解析度能达到90纳米甚至更低。这是我们实现90纳米製程突破的关键。”
马宇腾走到一台运行中的设备旁，一个机械臂正將一片晶圆送入设备內部。
晶圆表面，在强光下泛著微光。
“整个工艺流程，从晶圆清洗、涂胶、曝光、显影、刻蚀，再到离子注入和金属化，我们都进行了大量的优化和验证。”
肖光楠说，“当前，良品率是最大挑战。实验阶段波动较大，但我们相信，隨著工艺的进一步成熟和参数的精细调整，很快就能达到稳定量產的要求。” ↑返回顶部↑
此前，晶片公司总经理肖光楠在电话中告知，90纳米製程已取得突破，他特意赶来亲眼看看成果。
轿车停稳，马宇腾推门下车。
肖光楠早已等在门口，见他出现，立刻迎上前去，脸上带著难以掩饰的兴奋。
“马总，欢迎您来雷霆晶片指导工作。”肖光楠说。
“走吧，带我去看看你们的成果。”
马宇腾言语简洁，目光直接投向生產区方向。
前往生產区域的路上，肖光楠边走边匯报：
“马总，上次向您报告90纳米製程试產有突破。这几周，我们持续调试和优化，现在已成功跑通整个工艺流程。儘管良品率还有提升空间，但技术路径已得到充分验证。”
他语气中透著一股自豪，这是团队夜以继日攻关的结晶。
两人抵达洁净室入口，按规定换上无尘服，戴好口罩与手套。
经过风淋室的严格净化，才得以进入生產腹地。
洁净室內，巨大的设备阵列排布，机械臂在各自轨道上精確运行，发出轻微的机械声。
空气中，一种微弱而奇特的气味，那是高科技与精密製造混合出的专属气息。
肖光楠引领在前，指著一台核心设备介绍：
“马总，这就是我们90纳米製程的实验线。目前，所有关键设备均已就位，並完成了初步集成与校准。”
马宇腾的目光落在那台庞大的机器上，它被严密的防护罩包裹，占据了洁净室的核心位置。
“这是浸没式光刻机？”马宇腾的声音透过口罩，略显低沉。
他想起数月前，与张如晶商谈时的情景。
“是的。”肖光楠回应。
“它採用193纳米波长的深紫外线光源，通过在镜头与晶圆间填充纯水，有效提升了数值孔径，从而实现更小的曝光尺寸。”
他指向机器侧面的显示屏，“您看，这是光刻机的工作状態参数。我们正在进行曝光测试。”
显示屏上，数据流转，光束路径、曝光强度、晶圆定位精度，各项技术指標跃然眼前。
“这台机器的精度，远超我们此前使用的乾式光刻机。”
肖光楠继续说。
“它的解析度能达到90纳米甚至更低。这是我们实现90纳米製程突破的关键。”
马宇腾走到一台运行中的设备旁，一个机械臂正將一片晶圆送入设备內部。
晶圆表面，在强光下泛著微光。
“整个工艺流程，从晶圆清洗、涂胶、曝光、显影、刻蚀，再到离子注入和金属化，我们都进行了大量的优化和验证。”
肖光楠说，“当前，良品率是最大挑战。实验阶段波动较大，但我们相信，隨著工艺的进一步成熟和参数的精细调整，很快就能达到稳定量產的要求。” ↑返回顶部↑